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  • [M]微电子制造技术实验教程/微电子专业实验教材系列丛书-9787030444943
  • 本书获得了众多专家的推荐或权威评价,许多业内人士和读者纷纷表示它是一部不可错过的佳作。
    • 作者: 王姝娅[等]编著著 | 王姝娅[等]编著编 | 王姝娅[等]编著译 | 王姝娅[等]编著绘
    • 出版社: 科学出版社
    • 出版时间:2014-05-01
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    • 作者: 王姝娅[等]编著著| 王姝娅[等]编著编| 王姝娅[等]编著译| 王姝娅[等]编著绘
    • 出版社:科学出版社
    • 出版时间:2014-05-01
    • 版次:1
    • 印刷时间:2015-06-01
    • 字数:200000
    • 页数:152
    • 开本:小16开
    • ISBN:9787030444943
    • 版权提供:科学出版社
    本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验,同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力,注重实验的操作

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