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  • [M]芯片制造——半导体工艺与设备-9787111688815
  • 本书获得了众多专家的推荐或权威评价,许多业内人士和读者纷纷表示它是一部不可错过的佳作。
    • 作者: 陈译陈铖颖张宏怡著 | 陈译陈铖颖张宏怡编 | 陈译陈铖颖张宏怡译 | 陈译陈铖颖张宏怡绘
    • 出版社: 机械工业出版社
    • 出版时间:2022-01-01
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    • 作者: 陈译陈铖颖张宏怡著| 陈译陈铖颖张宏怡编| 陈译陈铖颖张宏怡译| 陈译陈铖颖张宏怡绘
    • 出版社:机械工业出版社
    • 出版时间:2022-01-01
    • ISBN:9787111688815
    • 版权提供:机械工业出版社
    本书着重介绍了半导体制造设备,并从实践的角度出发,选取了具有代表性的设备进行讲解。为了让读者加深对各种设备用途的理解,采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式,力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。本书可作为从事集成电路工艺与设备方面工作的工程技术人员,以及相关研究人员的参考用书,也可作为高等院校微电子、集成电路相关专业的规划教材和教辅用书。

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