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  • [M]半导体制造工艺控制理论-9787561259535
  • 本书获得了众多专家的推荐或权威评价,许多业内人士和读者纷纷表示它是一部不可错过的佳作。
    • 作者: 王少熙 等著
    • 出版社: 西北工业大学出版社
    • 出版时间:2018-04-01 00:00:00
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    • 作者: 王少熙 等著
    • 出版社:西北工业大学出版社
    • 出版时间:2018-04-01 00:00:00
    • 版次:1
    • 字数:265000
    • 页数:0
    • 开本:其他
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787561259535
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:西北工业大学出版社
    稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开,详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数,特殊工序能力指数,常规过程控制技术,特殊过程控制技术,实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。

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