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  • [M]半导体集成电路制造手册(第2版)-9787121429408
  • 本书获得了众多专家的推荐或权威评价,许多业内人士和读者纷纷表示它是一部不可错过的佳作。
    • 作者: 暂无著 | | (美)耿怀渝 等译
    • 出版社: 电子工业出版社
    • 出版时间:2022-02-01 00:00:00
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    • 作者: 暂无著| (美)耿怀渝 等译
    • 出版社:电子工业出版社
    • 出版时间:2022-02-01 00:00:00
    • 版次:2
    • 印次:1
    • 印刷时间:2022-02-01
    • 字数:1639000
    • 页数:788
    • 开本:16开
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787121429408
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:电子工业出版社
    本书是一本综合性很强的半导体集成电路制造方面的参考手册,由70多位国际专家撰写,并在其前一版的基础上进行了全面的修订与更新。本书内容涵盖集成电路芯片、MEMS、传感器和其他电子器件的设计与制造过程,相关技术的基础知识和实际应用,以及对生产过程的计划、实施和控制等运营管理方面的考虑。第二版新增了物联网、工业物联网、数据分析和智能制造等方面的内容,讨论了半导体制造基础、前道和后道工序、柔性复合电子技术、气体和化学品及半导体工厂的操作、设备和设施的完整细节。本书既可供高等院校与科研院所的教师、学生及研究人员学习和参考,也可作为半导体业界从事生产和管理的专业人员的工作手册。

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