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    • 作者: 张文明,胡开明著 | | 无译
    • 出版社: 科学出版社
    • 出版时间:2023-08
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    • 作者: 张文明,胡开明著| 无译
    • 出版社:科学出版社
    • 出版时间:2023-08
    • 开本:16
    • ISBN:9789597918544
    • 出版周期:旬刊
    • 版权提供:科学出版社
    ......
    基本信息
    商品名称: MEMS/NEMS谐振器技术 开本: 16开
    作者: 张文明,胡开明 定价: 298.00
    ISBN号: 9787030757197 出版时间: 2023-09-01
    出版社: 科学出版社 印刷时间: 2023-08-01
    版次: 1 印次: 1
    ............本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章,主要内容包括:MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势;谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术;谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术;谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为;微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法;谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术;通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术;微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术;谐振器中存在的典型失效模式与失效机理,以及多种可靠性评估方法和测试技术。............
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