- 商品参数
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- 作者:
赵祥敏,赵文海著|
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暂无译|
暂无绘
- 出版社:冶金工业出版社
- 出版时间:2015-06-17
- 版次:1
- 开本:16开
- 装帧:平装
- ISBN:9787502469177
- 版权提供:冶金工业出版社
本书以实例的形式,介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分8章,第1章主要介绍ZnO的晶体结构、能带结构、性能与应用;第2章主要介绍AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用;第3章主要介绍ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段;第4~6章分别介绍了AlN薄膜、ZnO薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征;第7章主要介绍不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响;第8章主要介绍退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响。