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  • [M]氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例-9787502469177
  • 本书获得了众多专家的推荐或权威评价,许多业内人士和读者纷纷表示它是一部不可错过的佳作。
    • 作者: 赵祥敏,赵文海著 | 暂无编 | 暂无译 | 暂无绘
    • 出版社: 冶金工业出版社
    • 出版时间:2015-06-17
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    • 作者: 赵祥敏,赵文海著| 暂无编| 暂无译| 暂无绘
    • 出版社:冶金工业出版社
    • 出版时间:2015-06-17
    • 版次:1
    • 开本:16开
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787502469177
    • 版权提供:冶金工业出版社
    本书以实例的形式,介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分8章,第1章主要介绍ZnO的晶体结构、能带结构、性能与应用;第2章主要介绍AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用;第3章主要介绍ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段;第4~6章分别介绍了AlN薄膜、ZnO薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征;第7章主要介绍不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响;第8章主要介绍退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响。

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