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编者:沈杰//梅永丰|责编:陶艳玲著
- 出版社:化学工业出版社
- ISBN:9787122446763
- 版权提供:化学工业出版社
《薄膜物理与技术》主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识,重点讲述了薄膜生长基础,薄膜生长技术,包括蒸发、溅射、离子镀、化学气相沉积、原子层沉积、化学溶液沉积以及纳米薄膜组装等,并对薄膜的基本性质及与光、电相关的一些薄膜材料进行了介绍。
本书可作为高等学校材料科学与工程、电子科学与技术、微电子、光学等专业的本科生或研究生的教材或教学参考书,也可供从事相关行业的工程技术人员参考使用。