- 商品参数
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- 作者:
王少熙 等著
- 出版社:西北工业大学出版社
- 出版时间:2018-04-01 00:00:00
- 版次:1
- 字数:265000
- 页数:0
- 开本:其他
- 装帧:平装
- ISBN:9787561259535
- 国别/地区:中国
- 版权提供:西北工业大学出版社
稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开,详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数,特殊工序能力指数,常规过程控制技术,特殊过程控制技术,实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。