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醉染图书气相沉积薄膜强韧化技术9787118115222
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章薄膜制备方法
1.1基本概念
1.1.1薄膜生长过程
1.1.2薄膜结构模型
1.1.3等离子体
1.2物理气相沉积
1.2.1蒸发镀膜
1.2.2溅鍍膜
1..离子镀膜
1.2.4离子束辅气相沉积
1.3化学气相沉积
1.3.1化学反应原理
1.3.2化学气相沉积技术的分类和简介
1.3.3化学气相沉积过程及特点
1.3.4化学气相沉积技术在工模具上的应用
1.4气相沉积技术的应用及进展
1.5小结
第2章薄膜强化技术
1.1薄膜的强化方法
……
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