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醉染图书III-V族光电探测器及其在光纤通信中的应用9787030511362
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前言
章光纤通信网概述
1.1光纤通信网发展概述
1.2光纤通信网的特点及架构
1.2.1光纤通信网的特点
1.2.2光纤通信网的架构
1.3波分复用系统
1.3.1波分复用系统的基本概念及特点
1.3.2波分复用系统的构成
1.3.3波分复用系统的波分复用器件和应用
参考文献
第2章半导体物理基础
2.1材料类型
2.1.1半导体材料
2.1.2材料
2.2材料特征
2.2.1折率
2.2.2工作波长
2..非线效应
2.2.4偏振效应
.半导体理论基础
..1能带理论
..2能级跃迁和辐
..粒子数反转
.,4掺杂作用
..5PN结
参考文献
第3章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器
3.1光电探测器简介
3.1.1光接收机
3.1.2光电探测器(光电检测器)
3.2新型光电探测器的分类
3.2.1单行载流子光电探测器
3.2.2波导型光探测器
3,.双吸收层型光探测器
3.3光电探测器的工作特
3.3.1量子效率与响应度
3.3.2响应速度
3.3.3暗电流
3.3.4线响应度
3.3.5噪声特
参考文献
第4章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器制备工艺
4.1晶体的生长和外延
4.1.1晶体的生长
4.1.2外延生长技术
4.1.3外延层的结构和存在问题
4.2薄膜淀积
4.2.1热氧化
4.2.2频溅实现金属化
4.3基于光刻与刻蚀的平面加工
4.3.1光学曝光技术
4.3.2束曝光技术
4.3.3刻蚀技术
4.3.4模型加工技术
参考文献
第5章基于Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的解复用光接收器件
5.1光电集成技术的发展及其在解复用光接收器件中的应用
5.2波分复用系统中的光波分解复用器
5.2.1TFF型解复用器
5.2.2AWG型解复用器
5..FBG型解复用器
5.3波分复用系统解复用光接收器件
5.3.1波导型光探测器
5.3.2基于F—P滤波腔的光探测器
5.3.3谐振腔型光探测器
参考文献
第6章高能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器
6.1基于垂直楔形吸收腔的Si基长波长解复用光接收器件
6.1.1器件的基本结构
6.1.2理论计算与特分析
6.1.3器件的外延生长和制备
6.1.4器件的测试和分析
6.2基于锥形吸收腔的Si基长波长解复用光接收器件
6.2.1基本结构与理论
6.2.2圆锥形微结构的制作工艺
6..器件的外延生长与制备
6.2.4器件的测试和分析
6.3具有平顶陡边光谱响应的Si基长波长集成解复用光探测器
6.3.1具有平顶陡边响应特的Si基长波长集成解复用光探测
器的理论分析
6.3.2基于BCB树脂的晶片键合技术
6.3.3器件的外延生长和制备
6.3.4器件的测试和分析
参考文献
第7章高能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的应用
7.1接入光网络
7.1.1网络特点
7.1.2关键技术
7.1.3实例分析
7.2动态可重构光网络
7.2.1网络特点
7.2.2关键技术
7..实例分析
7.3相干光网络
7.3.1网络特点
7.3.2关键技术
7.3.3实例分析
参考文献
第8章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的未来发展趋势
8.1光电探测器的展望
8.2新器件与新技术
8.2.1单行载流子光探测器
8.2.2基于微纳结构集成的Ⅲ-Ⅴ族光探测器
8..聚焦离子束加工技术
8.2.4软光刻加工技术
参考文献
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