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诺森集成电路制造技术教程李惠军编著9787300321清华大学出版社
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李惠军,山东日照人。1952年生于济南。1975年于南京邮电学院一系半导体器件专业。现为山东大学信息科学与工程学院教授、硕士导师,兼任山东大学孟完微研发中心主任。中国学会《CIE)不错会员,信息产业部《微纳技术》特邀编委。
主要教学与科研方向超大规模集成电路制造工艺技术的研究;超大规模专用集成电路(ASIC)的一体化设计研究:超大规模集成电路SOC(片上系统)芯片的下CAD一体化设计、与优化研究深亚微米,超深亚微米及纳米集成化器件ICCAD工艺级与器件物理级可制造设计领域的硕究。
近年来,承担并完成了三项省、部级科研与教学立项。曾获山东省科学技术进步二等奖一项,山东省省教委科技进步一等奖一项,山东省省级教学成果一等奖一项。山东省省级教学成果二等奖一项均为首位)。
近五年来,独立编著、主编著作四部:1《计算机辅设计在微技术领域中的应用》ISBN7―5636―1365―x(独立编著),石油大学出版社;2《集成电路制造技术》ISBN7―90033―29―x(主编),山东省出版总社;3《集成电路工艺设计与教学平台》ISBN7―900313―99―O(主编),山东音像出版社;4《现代集成电路制造技术一原理与实践》多媒体.交互式、立体化教程ISBN47―89496―924―9(主编),工业出版社。近十年,发表学术七十余篇。
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