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诺森真空镀膜技术与应用陆峰9787122402455化学工业出版社
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章 真空镀膜技术概论
1.1 概述
1.2 影响固体表面结构、形貌及其能的因素
1.2.1 原子和分子构成固体物质
1.2.2 多晶体物质结构
1.. 材料受到的各种应力负荷
1.2.4 材料加工所带来的缺陷
1.2.5 基片表面涂敷硬质薄膜的必要
1.3 基片与薄膜的匹配
1.3.1 基片的表面形貌、热膨胀系数对薄膜的影响
1.3.2 基片与薄膜的选择原则
1.4 真空镀膜及其工艺特点和应赋予涂层的功能
1.5 薄膜的特征
1.5.1 薄膜的结构特征
1.5.2 金属薄膜的电导特征
1.5.3 金属薄膜电阻温度系数特征
1.5.4 薄膜的光学特征
1.5.5 薄膜的密度特征
1.5.6 薄膜的时效变化特征
1.6 薄膜的应用
1.6.1 工业用薄膜
1.6.2 光学工业中应用的各种光学薄膜
1.6.3 光伏产业中薄膜的应用
1.6.4 刀具行业中薄膜的应用
1.6.5 机械、化工、石油等工业中应用的硬质膜、耐蚀膜和润滑膜
1.6.6 有机分子薄膜
1.6.7 民用及食品工业中的装饰膜和包装膜
1.7 真空镀膜的发展历程及 进展
参考文献
第2章 真空镀膜技术基础
2.1 真空镀膜物理基础
2.1.1 真空及真空状态的表征和测量
2.1.2 气体的基本质
2.1.3 气体的流动与流导
2.1.4 气体分子与固体表面的相互作用
2.2 真空镀膜低温等离子体基础
2.2.1 等离子体及其分类与获得
2.2.2 低气压下气体的放电
2.. 低气压下气体放电的类型
2.2.4 低气压下冷阴极气体辉光放电
2.2.5 低气压非自持热阴极弧光放电
2.2.6 低气压自持冷阴极弧光放电
2.2.7 磁控辉光放电
2.2.8 空心冷阴极辉光放电
2.2.9 高频放电
2.2.10 等离子体宏观中特征及其中空间强度的判别
. 薄膜的生长与膜结构
..1 膜的生长过程及影响膜生长的因素
..2 薄膜的结构及其结构缺陷
2.4 薄膜的质及其影响因素
辽宁省高校创新团队带头人,入选辽宁省百千万人才工程“百人层次”和荣获省YOUXIU科技工作者、沈阳市“十大科技英才”等称号,全国光学功能薄膜材料标准化技术会员会委员、全国硬切削材料刀具分技术委员会委员。 主要从事金刚石涂层刀具、硬脆材料精密加工技术等方面研究,其中于刚石涂层刀具能和切削加工工艺的研究成果,为金刚石涂层刀具在难加工材料精加工领域的推广奠定了技术基础。先后承担完成了GJ级、省(部)级以上课题45项,发表高水平80多篇,被三大检索数据库收录42篇,公开出版著作3部,授权8项,获中国金奖、辽宁省技术发明一等奖在内科研奖励16项。
书系统全面地阐述了真空镀膜技术的基本理论知识体系以及各种真空镀膜方法、设备及工艺。对ZUI新的薄膜类型、检测评价、真空镀膜技术及装备等内容也进行了详细的介绍,如金刚石薄膜的应用及大面积制备技术、工艺、能评等方面。 本书叙述深入浅出,内容丰富而精炼,工程实践强,在强化理论的同时,重点突出了工程应用,具有很强的实用,通俗易懂、简单易学。
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书系统全面地阐述了真空镀膜技术的基本理论知识体系以及各种真空镀膜方法、设备及工艺。对ZUI新的薄膜类型、检测评价、真空镀膜技术及装备等内容也进行了详细的介绍,如金刚石薄膜的应用及大面积制备技术、工艺、能评等方面。 本书叙述深入浅出,内容丰富而精炼,工程实践强,在强化理论的同时,重点突出了工程应用,具有很强的实用,通俗易懂、简单易学。
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