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全新正版多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器9787301339053北京大学
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第1章 绪论
第2章 工艺条件对多晶硅纳米薄膜特的影响
第3章 多晶硅纳米薄膜的杨氏模量研究
第4章 多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用研究
第5章 多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析
参考文献
陆学斌----------------------------陆学斌,哈尔滨理工大学软件与微学院副教授,哈尔滨工业大学博士。2010年于哈尔滨工业大学航天学院。目前主要从事半导体材料、传感器、模拟和数字集成电路等方面的相关研究。发表Ei或SCI检索12篇,教改4篇;主持黑龙江省自然科学面上项目1项、黑龙江省教育科学十三五规划课题1项、黑龙江省高等教育学会十三五规划课题1项;申请并获授权实用新型专利2项;出版教材4部。2016年获哈尔滨理工大学校级教师,2018年获哈尔滨理工大学校级三全育人之个人。
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