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  • 全新正版微细加工与微纳加工技术及应用9787129406化学工业
    • 作者: 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤著 | 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤编 | 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤译 | 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤绘
    • 出版社: 化学工业出版社
    • 出版时间:2021-01-01
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    • 作者: 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤著| 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤编| 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤译| 编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤绘
    • 出版社:化学工业出版社
    • 出版时间:2021-01-01
    • 版次:1
    • 印次:1
    • 印刷时间:2021-01-01
    • 开本:16开
    • ISBN:9787122369406
    • 版权提供:化学工业出版社
    • 作者:编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤
    • 著:编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤
    • 装帧:暂无
    • 印次:1
    • 定价:79.00
    • ISBN:9787122369406
    • 出版社:化学工业
    • 开本:16开
    • 印刷时间:2021-01-01
    • 语种:暂无
    • 出版时间:2021-01-01
    • 页数:暂无
    • 外部编号:31027473
    • 版次:1
    • 成品尺寸:暂无

    章 绪论
    1.1 制造技术发展趋势
    1.2 微制造
    1.3 微切削
    1.4 纳米材料、纳米技术
    1.5 微纳米加工技术
    1.5.1 微纳米加工技术的基本过程
    1.5.2 微纳米加工成像工艺类型
    第2章 微切削加工技术
    2.1 微切削加工技术概论
    2.2 微切削力学
    2.2.1 尺寸效应
    2.2.2 切屑形成与切削厚度
    2.. 比切削能与微切削力
    2.2.4 表面生成和毛刺生成
    . 微型刀具设计与制造
    ..1 微型刀具尺寸与加工尺度
    ..2 实柄微刀具的制造方法
    .. 涂层与实柄涂层微刀具
    ..4 金刚石微切削刀具
    ..5 微切削刀具的磨损
    2.4 金刚石车削与微车削
    2.4.1 超精密金刚石车削
    2.4.2 金刚石车削加工微结构
    2.4.3 微车削
    2.4.4 微车削中的尺寸效应
    2.5 微铣削加工技术
    2.5.1 微铣削加工系统构成
    2.5.2 微铣削机床
    2.5.3 微铣刀
    2.5.4 工艺条件
    2.5.5 工件材料
    2.6 微铣削中的力学
    2.6.1 微尺度切削中的尺寸效应
    2.6.2 切削厚度
    2.6.3 工件材料微观结构的影响
    2.6.4 微铣削技术面临的问题
    2.7 微细钻削技术
    2.7.1 微细钻头
    2.7.2 微孔加工机床
    2.7.3 微孔钻削工艺
    2.7.4 微孔钻削实例
    2.7.5 微孔钻削中颤振研究简介
    2.8 微磨削技术
    2.8.1 微(超精)磨削加工过程
    2.8.2 金刚石微粉超硬砂轮超精密磨削
    2.8.3 复合结合剂(黏结剂)金刚石微粉砂轮超精密磨削
    2.8.4 微磨削加工脆材料的去除机理
    2.8.5 工件材料与金刚石磨粒之间的相互作用
    2.8.6 微磨削的加工方法
    2.8.7 在线电解修锐法(EL)
    2.8.8 微磨削加工实例
    第3章 微细电加工技术
    3.1 电火花加工机理及特点
    3.2 微细电极的在线制作与检测
    3.3 电火花微铣削加工技术
    3.3.1 电火花微铣削加工技术的特点
    3.3.2 基于分层制造原理的电火花微铣削加工技术
    第4章 激光的微纳米加工技术
    4.1 激光的基本原理
    4.1.1 单色光束的产生
    4.1.2 受激发
    4.1.3 二极管激光器
    4.1.4 准分子激光器
    4.1.5 钛:蓝宝石激光器
    4.2 光束特
    4.3 激光光学
    4.3.1 光学品质
    4.3.2 激光加工原理
    4.4 激光微米加工
    4.4.1 纳秒脉冲微米加工
    4.4.2 保护气体
    4.4.3 表面熔化阶段划分
    4.4.4 纳秒脉冲微米微加工的效果
    4.4.5 皮秒脉冲微米加工
    4.5 激光纳米加工技术
    第5章 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术
    5.1 CVD工艺原理与发展
    5.2 金刚石CVD工艺类型
    5.3 衬底
    5.3.1 衬底材料的选择
    5.3.2 衬底预处理
    5.3.3 对钼/硅衬底的预处理
    5.3.4 对硬质合金衬底的预处理
    5.4 改进的热灯丝CVD工艺
    5.4.1 热灯丝组件的改进
    5.4.2 工艺条件
    5.5 金刚石的成核与生长
    5.5.1 成核阶段
    5.5.2 同质外延生长
    5.5.3 异质外延生长
    5.5.4 偏压型成核(BEN)
    5.5.5 温度的影响
    5.6 金刚石在三维衬底上的沉积
    5.6.1 在金属(钼)丝上金刚石沉积
    5.6.2 在WC-Co(硬质合金)微型钻头上的沉积
    5.6.3 在WC-Co牙钻上的金刚石沉积
    第6章 纳米机械加工原理、方法与实现
    6.1 纳米机械加工概念及类型
    6.2 纳米机械加工理论基础
    6.2.1 切削力和切削能量
    6.2.2 切削温度
    6.. 切屑形成和表面生成
    6.2.4 未变形切屑厚度
    6.2.5 临界切削刃半径
    6.2.6 工件材料特
    6.3 纳米机械加工的实现及应用前景
    6.3.1 超精密机床
    6.3.2 切削刀具
    6.3.3 切削参数变化对加工表面质量的影响
    6.3.4 实用化纳米尺度加工
    6.4 超精密的砂带磨削方式
    6.4.1 超精密砂带磨削方式
    6.4.2 超声波砂带磨削运动与机理
    6.4.3 砂带磨削的应用
    第7章 微纳米加工光刻技术
    7.1 光学曝光技术
    7.1.1 光学曝光方式与原理
    7.1.2 光刻胶的特
    7.1.3 正型光刻胶与负型光刻胶
    7.1.4 化学放大胶与特殊光刻胶
    7.1.5 光学掩膜的设计与制作
    7.2 短波长曝光技术
    7.2.1 深紫外曝光技术
    7.2.2 极紫外曝光技术
    7.. X线的曝光技术
    7.3 大数值孔径与浸没式曝光技术
    7.4 厚胶曝光技术
    7.4.1 酚醛清漆光刻胶
    7.4.2 SU-8光刻胶
    7.5 LIGA(光刻、电镀、注塑复制)技术
    7.5.1 用于LIGA的X线光源
    7.5.2 X线LIGA掩膜
    7.5.3 用于X线LIGA的厚胶及其工艺
    7.5.4 影响X线的LIGA图形精度的因素
    7.6 束曝光技术
    7.6.1 束曝光系统
    7.6.2 束曝光图形设与据格式
    7.6.3 束曝

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