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全新微观形貌测量技术惠梅9787568265478
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章 绪论
1.1形貌测量概述
1.2微观形貌测量
1.2.1机械触针轮靡术
1.2.2光学轮廊术
1..光学探针轮廓术
1.2.4扫描显微镜
1.2.5扫描隧道显微镜
1.2.6原子力显微镜
1.3微观形貌测量技术应用及其发展
第二章 相移干涉原理
2.1相移干涉术
2.1.1分步进相移干涉术
2.1.2线连续移干涉术
2.2采样方式
.移相方式
..1偏振移相
..2光栅衍移相
..倾斜玻璃板移相
..4压电陶资移相
……
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