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全新微纳系统技术与应用姚军,汪为民9787030321039
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前言 章 微纳系统技术概述 1.1 引言 1.1.1 微纳系统的概念 1.1.2 尺度效应 1.1.3 微纳系统的研究领域 1.2 研究现状 1.3 发展前景 1.4 本章小结 参考文献 第2章 微光学 2.1 光学基础知识 2.1.1 反和折定律 2.1.2 光的干涉 2.1.3 光的衍 2.2 微光学基本理论 2.2.1 标量衍理论 2.2.2 矢量衍理论 . 微光学典型器件 ..1 衍光学器件 ..2 亚波长光学元件 .. 微光学波导器件――纳米光纤 ..4 自由空间微光学器件 2.4 本章小结 参考文献 第3章 MEMS概述 3.1 MEMS材料 3.1.1 基片材料 3.1.2 薄膜材料 3.2 MEMS传感器 3.2.1 物理传感器 3.2.2 化学传感器 3.. 生物传感器 3.3 MEMS执行器 3.3.1 静电执行器 3.3.2 压电执行器 3.3.3 电磁执行器 3.3.4 电热执行器 3.4 MEMS应用 3.4.1 MEMS开关 3.4.2 MEMS滤波器 3.4.3 微陀螺仪 3.5 本章小结 参考文献 第4章 MOEMS 4.1 MOEMS概述 4.1.1 研究领域 4.1.2 研究进展 4.2 光通信器件 4.2.1 光源器件 4.2.2 光开关 4.. VOA 4.3 MOEMS显示器件 4.3.1 DMD 4.3.2 光栅光阀 4.4 变形镜 4.4.1 变形镜概述 4.4.2 微机械薄膜变形镜 4.4.3 表面微机械分立和连续镜面变形镜 4.5 本章小结 参考文献 第5章 微细加工技术 5.1 微细加工技术基础 5.1.1 光刻 5.1.2 沉积 5.1.3 刻蚀 5.2 表面微加工技术 5.2.1 概述 5.2.2 表面工艺中的主要问题及其解决办法 5.. 实例解析 5.3 微加工技术 5.3.1 掺杂技术 5.3.2 LIGA技术 5.3.3 纳米加工技术 5.3.4 封装技术 5.4 本章小结 参考文献 第6章 NEMS概述 6.1 概述 6.1.1 NEMS的特点 6.1.2 NEMS的制造技术 6.1.3 NEMS的检测与表征 6.2 NEMS器件 6.2.1 谐振器 6.2.2 悬臂梁生化传感器 6.3 NEMS在微流体中的应用 6.3.1 微流体特 6.3.2 微驱动 6.3.3 微通道 6.3.4 微泵 6.3.5 微阀 6.4 芯片实验室 6.4.1 加工 6.4.2 常用的检测技术 6.4.3 生化单分子检测 6.5 纳米传感器 6.5.1 LSPR传感器 6.5.2 光纤消逝场生化传感器 6.5.3 平板波导生化传感器 6.6 NEMS展望 6.7 本章小结 参考文献 第7章 MEMS实例分析 7.1 设计目标 7.2 结构设计 7.2.1 工作原理 7.2.2 建立模型 7.3 工艺设计 7.4 参数优化 7.4.1 物理模型分析 7.4.2 工程力学分析 7.4.3 计算机辅工程分析 7.4.4 参数优化实例 7.5 器件加工 7.5.1 版图绘制 7.5.2 加工过程 7.5.3 标准工艺 7.6 样品测试 7.6.1 MEMS测试概述 7.6.2 样品测试实例 7.7 封装与系统集成 7.7.1 MEMS封装概述 7.7.2 Sandia实验室变形镜的封装与集成 7.8 本章小结 参考文献
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