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音像气相沉积技术原理及应用张世宏,王启民,郑军 编
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篇物理气相沉积技术1真空镀膜技术基础1.1真空镀膜技术简介1.2真空镀膜系统1.2.1真空的获得1.2.2真空的测量1.3薄膜的表征1.3.1薄膜的成分和结构1.3.2薄膜的硬度1.3.3薄膜的结合力2PVD薄膜成膜原理2.1等离子体特2.1.1等离子体的基本参量以及等离子体温度2.1.2等离子体振荡2.1.3等离子体的屏蔽效应及德拜长度2.1.4等离子体鞘层与等离子体电位2.2凝结过程.薄膜的形核与生长..1自发形核..2非自发形核……
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