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  • 音像NEMS传感器的研制与应用谭苗苗著
  • 正版
    • 作者: 谭苗苗著著 | 谭苗苗著编 | 谭苗苗著译 | 谭苗苗著绘
    • 出版社: 冶金工业出版社
    • 出版时间:2016-11
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    • 作者: 谭苗苗著著| 谭苗苗著编| 谭苗苗著译| 谭苗苗著绘
    • 出版社:冶金工业出版社
    • 出版时间:2016-11
    • 版次:1
    • 印刷时间:2017-01-01
    • 字数:181千字
    • 页数:109
    • 开本:小16开
    • ISBN:9787502474423
    • 版权提供:冶金工业出版社
    • 作者:谭苗苗著
    • 著:谭苗苗著
    • 装帧:平装
    • 印次:暂无
    • 定价:28.00
    • ISBN:9787502474423
    • 出版社:冶金工业出版社
    • 开本:小16开
    • 印刷时间:2017-01-01
    • 语种:中文
    • 出版时间:2016-11
    • 页数:109
    • 外部编号:8911718
    • 版次:1
    • 成品尺寸:暂无

    1NEMS传感器的结构及加工工艺设计

    1.1NEMS传感器的元件:一维纳米材料

    1.1.1纳米管、纳米线、纳米带

    1.1.1.1碳纳米管

    1.1.1.2纳米线

    1.1.1.3纳米带

    1.1.2一维纳米材料的机电能

    1.2基于一维纳米材料的NEMS生物传感器设计

    1.2.1NEMS传感器系统设计

    1.2.2传感器加工工艺

    1..传感器测试方案

    1...1扫描电镜测试

    1...2器件的电特测试

    1...生物检测实验

    2基于一维纳米材料的NEMS传感器研究进展

    2.1碳纳米管原位生长

    2.2碳纳米管生长后组装

    .碳纳米管的多层结构制造

    2.4NEMS器件的电学特研究进展

    2.5基于一维纳米材料NEMS器件制备方法的研究意义

    3面向NEMS器件的一维纳米结构流体组装

    3.1碳纳米管悬浮液的配制

    3.2组装碳纳米管的基片修饰与选择

    3.2.1基片修饰预处理

    3.2.2基片选择

    3.3流体定向组装碳纳米管

    3.3.1流体定向组装原理

    3.3.2流体组装实验装置设计

    3.3.3流体组装计算

    3.3.3.1计算模型

    3.3.3.2计算结果

    3.3.4流体组装实验

    3.3.4.1碳纳米管流体组装实验

    3.3.4.2一维纳米材料流体组装实验

    3.4碳纳米管方向一致评

    3.5本章小结

    4面向NEMS器件的一维纳米结构介电电泳组装

    4.1介电电泳组装概述

    4.2碳纳米管的介电电泳排列组装

    4.2.1介电电泳场强分布

    4.2.2介电电泳实验

    4..介电电泳组装的影响因素分析

    4...1电极宽度

    4...2电泳时间

    4...电场模式

    4.2.4一维纳米材料的介电电泳组装

    4.2.4.1单壁碳纳米管

    4.2.4.2碳纳米纤维

    4.2.4.3BiS半导体纳米线

    4.3碳纳米管的单层有序多层结构制备

    4.3.1介电电泳结合LBL组装方法

    4.3.2介电电泳与LBL组装实验

    4.3.3碳纳米管单层有序的纵向多层结构

    4.4流体与介电电泳结合排列组装碳纳米管

    4.4.1流体参数选择

    4.4.2电场参数选择

    4.4.3流体结合电泳组装与电泳组装和流体组装比较

    4.5本章小结

    5面向NEMS器件的电接触能研究

    5.1电接触的理论分析

    5.2碳纳米管金属引线制作方法

    5.3金属电极上沉积碳纳米管的接触特研究

    5.3.1振动破坏实验验接触可靠

    5.3.1.1振动实验装置

    5.3.1.2加速度1~10g垂直方向振动对接触的影响

    5.3.1.3加速度大于10g的振动对接触的影响

    5.3.2高温退火改善接触研究

    5.3.2.1高温退火实验

    5.3.2.2实验结果分析

    5.4图形化金属包覆碳纳米管的引线接触研究

    5.4.1金属选择

    5.4.2金属引线电极制作

    5.4.2.1电极图形及工艺设计

    5.4.2.2金属腐蚀

    5.4..接触状态比较

    5.5本章小结

    6NEMS传感器在空气环境检测中的应用

    6.1NEMS传感器应用于空气环境检测的研究进展

    6.2以硅纳米线为元件的NEMS传感器

    6.2.1元件

    6.2.1.1硅纳米线制备

    6.2.1.2硅纳米线的表面修饰

    6.2.2传感器结构

    6..基于场效应晶体管结构的纳米线传感器检测原理

    6.3空气微生物检测系统

    6.3.1气溶胶发生装置

    6.3.2气溶胶样品采集

    6.3.2.1气溶胶静电采样原理

    6.3.2.2气溶胶采样器结构

    6.3..采样器电场分布计算

    6.3.2.4采样器的物理采集效率实验分析

    6.3.2.5NEMS传感器检测用样品的输运

    6.3.3信号处理及显示装置

    6.4采用NEMS传感器检测实验

    7NEMS传感器的发展趋势及应用前景展望

    7.1NEMS传感器研究的发展趋势

    7.1.1纳米材料的制备及能研究

    7.1.2器件的结构研究

    7.1.3器件的加工工艺

    7.2NEMS传感器的应用前景展望

    参考文献

    后记

    谭苗苗,工学博士,北京联合大学机械工程及自动化系副主任。主要研究方向为微机电系统、测控技术。

    2004年9月-2008年7月。在清华大学精密仪器及机械学系攻读博士,并获得工学博士;2008年7月-2010年6月,在北京大学环境污染与控制重点实验室博士后流动站工作。

    微机电系统(MEMS)具有体积小、成本低、易于集成和批量生产等优点,在信息、军事、医疗、汽车、航天等领域有广泛的应用。近年来,随着纳米材料和结构研究的深入,将纳米材料、纳米结构和纳米加工与MEMS相结合,形成了一个新的研究方向纳机电系统(NEMS)。本书通过涉及物理、化学、生物、材料、、机械等多门学科,讲述了利用纳米材料/结构表现出的独特的力、电、热、光、磁等能进行新型纳传感器件的研究逐渐成为NEMS研究的一个热点。从纳米材料的新效应和新质出发,可以实现新功能或突破常规器件的能极限,实现具有新原理或高能(如高灵敏度、低功耗、低噪声)的纳米器件和系统。

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