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音像晶圆制造自动化物料运输系统调度张洁,秦威,吴立辉 著
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章 晶圆制造系统1.1 半导体制造产业1.1.1 半导体制造产业的发展与现状1.1.2 未来半导体制造产业面临的挑战1.2 半导体芯片制造工艺1.2.1 晶圆制备1.2.2 晶圆制造1.. 晶圆拣选测试1.2.4 芯片封装1.2.5 芯片封装测试1.3 晶圆制造系统的构成1.3.1 晶圆加工系统1.3.2 晶圆制造物料运输系统1.4 晶圆制造系统的调度本章参考文献第2章 晶圆制造自动化物料运输系统2.1 晶圆制造物料运输系统的发展2.1.1 半自动化物料运输系统2.1.2 自动化物料运输系统2.1.3 智能化物料运输系统2.2 晶圆制造自动化物料运输系统的组成2.2.1 晶圆卡2.2.2 传送系统2.. 存储系统2.2.4 跟踪系统2.2.5 控制系统. 晶圆制造物料运输系统布局..1 单脊椎型布局..2 双脊椎型布局.. 整体式布局..4 周边布局..5 混合式布局2.4 晶圆制造自动化物料运输系统的特点本章参考文献第3章 晶圆制造AMHS的建模3.1 基于网络流模型的晶圆制造AMHS建模3.1.1 网络流模型基本理论3.1.2 晶圆制造AMHS网络流建模过程3.2 基于排队论模型的晶圆制造AMHS建模3.2.1 排队论模型基本理论3.2.2 晶圆制造AMHS排队论建模过程3.3 基于数学规划模型的晶圆制造AMHS建模3.3.1 数学规划模型基本理论3.3.2 晶圆制造AMHS数学规划建模过程3.4 基于马尔可夫模型的晶圆制造AMHS建模3.4.1 马尔可夫模型基本理论3.4.2 晶圆制造AMHS马尔可夫建模过程3.5 基于模型的晶圆制造AMHS建模3.5.1 模型基本理论3.5.2 晶圆制造AMHS建模过程3.6 基于Petri网模型的晶圆制造AMHS建模3.6.1 Petri网模型基本理论3.6.2 晶圆制造AMHS的Petri网建模过程3.7 本章小结本章参考文献第4章 晶圆制造AMHS运行特分析4.1 AMHS运行过程描述4.2 常用AMHS运行分析方法4.3 晶圆制造AMHS扩展马尔可夫模型4.3.1 参数定义与设4.3.2 扩展马尔可夫模型定义4.3.3 扩展马尔可夫模型的分析过程4.3.4 模型有效验4.4 基于扩展马尔可夫模型的AMHS运行分析4.4.1 运输小车平均利用率分析4.4.2 空载运输小车平均到达时间间隔分析4.4.3 期望和实际运输量分析4.4.4 晶圆卡等待时间分析4.4.5 运输小车堵塞相关指标分析4.4.6 AMHS运行分析实例4.5 本章小结本章参考文献第5章 晶圆制造AMHS调度方法5.1 基于启发式规则的晶圆制造AMHS调度5.1.1 启发式规则概述5.1.2 启发式规则在晶圆制造AMHS调度中的应用5.2 基于运筹学方法的晶圆制造AMHS调度5.2.1 运筹学方法概述5.2.2 运筹学方法在AMHS调度中的应用5.3 基于智能算法的晶圆制造AMHS调度5.3.1 智能算法概述5.3.2 智能算法在AMHS调度中的应用5.4 本章小结本章参考文献第6章 Interbay物料运输系统调度6.1 Interbay物料运输调度问题描述6.2 基于AMPHI的Interbay物料运输调度方法6.2.1 基于AMPHI的Interbay物料运输调度模型6.2.2 基于AMPHI的Interbay物料运输系统调度框架6.. Interbay物料运输任务指派6.2.4 基于模糊逻辑的参数权重调节6.2.5 实例验6.3 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度方法6.3.1 Interbay物料运输全局优化调度模型6.3.2 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度框架6.3.3 基于遗传规划的复合规则生成算法6.3.4 实例验6.4 本章小结本章参考文献第7章 Intrabay物料运输系统调度7.1 Intrabay物料运输调度问题描述7.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度方法7.2.1 基于GDP的Intrabay物料运输调度模型7.2.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度框架7.. 基于模糊逻辑的晶圆卡运输动态优先级决策7.2.4 基于匈牙利算法的Intrabay物料运输任务指派方法7.2.5 基于贪婪优化的运输小车调度策略7.2.6 实例验7.3 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度方法7.3.1 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度框架7.3.2 推拉结合的VSL和LSV调度规则7.3.3 实例验7.4 本章小结本章参考文献第8章 晶圆制造AMHS集成调度8.1 AMHS集成调度问题描述8.2 基于PMOGA的AMHS集成调度方法8.2.1 基于PMOGA的AMHS集成调度模型8.2.2 基于PMOGA的AMHS集成调度框架8.. 面向AMHS集成调度的并行多目标遗传算法8.2.4 实例验8.3 基于GARL的AMHS复合启发式集成调度方法8.3.1 AMHS集成调度基本规则8.3.2 小车路径库构建8.3.3 基于遗传算法的路径智能选择算法8.3.4 实例验8.4 本章小结本章参考文献第9章 晶圆制造AMHS调度能评9.1 AMHS调度能评的建模需求9.2 基于面向多代理的知识有色赋时Petri网模型的AMHS建模方法9.2.1 面向多代理的知识有色赋时Petri网的定义9.2.2 基于AOCKTPN的AMHS建模过程9.. AOKCTPN模型的可行分析9.3 基于AOKCTPN的AMHS调度能评9.3.1 变迁时间分析9.3.2 调度能评指标9.3.3 调度能评方法9.4 晶圆制造AMHS调度能评实例9.4.1 AOKCTPN模型可行的实例验9.4.2 基于AOKCTPN的AMHS调度能评9.5 本章小结本章参考文献后记
张洁,女,上海交通大学教授、博士导师,长期致力于将优选制造技术与优选管理理念和IT技术密切结合的课题研究与开发,并在智能制造系统与大数据技术等方面进行了深入研究并取得了丰硕的成果。主持与参加了自然科学重点项目和面上项目、高技术研究发展计划(863计划)项目、科技重大专项等20多个项目,出版专著5部,发表多篇(其中被SCI收录20余篇,被EI收录40余篇,被ISTP收录10余篇),获得发明专利授权7项。秦威,男,上海交通大学讲师、博士导师,2004年于上海交通大学,之后分别于2006年、2011年获清华大学硕士和香港大学博士,长期从事复杂科学,特别是复杂制造系统建模、优化与控制、智能制造、制造大数据分析与挖掘等领域的研究工作。吴立辉,男,河南工业大学副教授,硕士导师,2011年获上海交通大学博士,主要研究方向为晶圆制造物料运输系统建模、调度与控制技术,智能物流装备设计及控制。主持和参与自然科学项目、高技术研究发展计划(863计划)项目、科技攻关项目等多个项目,发表30佘篇(其中被SCI、El收录15篇),获发明专利授权3项。
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