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  • 音像晶圆制造自动化物料运输系统调度张洁,秦威,吴立辉 著
  • 正版
    • 作者: 张洁,秦威,吴立辉 著著 | 张洁,秦威,吴立辉 著编 | 张洁,秦威,吴立辉 著译 | 张洁,秦威,吴立辉 著绘
    • 出版社: 华中科技大学出版社
    • 出版时间:2015-12-01
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    • 作者: 张洁,秦威,吴立辉 著著| 张洁,秦威,吴立辉 著编| 张洁,秦威,吴立辉 著译| 张洁,秦威,吴立辉 著绘
    • 出版社:华中科技大学出版社
    • 出版时间:2015-12-01
    • 版次:1
    • 印次:1
    • 字数:362千字
    • 页数:263
    • 开本:16开
    • ISBN:9787568009027
    • 版权提供:华中科技大学出版社
    • 作者:张洁,秦威,吴立辉 著
    • 著:张洁,秦威,吴立辉 著
    • 装帧:平装
    • 印次:1
    • 定价:88.00
    • ISBN:9787568009027
    • 出版社:华中科技大学出版社
    • 开本:16开
    • 印刷时间:暂无
    • 语种:暂无
    • 出版时间:2015-12-01
    • 页数:263
    • 外部编号:1201237621
    • 版次:1
    • 成品尺寸:暂无

    章 晶圆制造系统
    1.1 半导体制造产业
    1.1.1 半导体制造产业的发展与现状
    1.1.2 未来半导体制造产业面临的挑战
    1.2 半导体芯片制造工艺
    1.2.1 晶圆制备
    1.2.2 晶圆制造
    1.. 晶圆拣选测试
    1.2.4 芯片封装
    1.2.5 芯片封装测试
    1.3 晶圆制造系统的构成
    1.3.1 晶圆加工系统
    1.3.2 晶圆制造物料运输系统
    1.4 晶圆制造系统的调度
    本章参考文献
    第2章 晶圆制造自动化物料运输系统
    2.1 晶圆制造物料运输系统的发展
    2.1.1 半自动化物料运输系统
    2.1.2 自动化物料运输系统
    2.1.3 智能化物料运输系统
    2.2 晶圆制造自动化物料运输系统的组成
    2.2.1 晶圆卡
    2.2.2 传送系统
    2.. 存储系统
    2.2.4 跟踪系统
    2.2.5 控制系统
    . 晶圆制造物料运输系统布局
    ..1 单脊椎型布局
    ..2 双脊椎型布局
    .. 整体式布局
    ..4 周边布局
    ..5 混合式布局
    2.4 晶圆制造自动化物料运输系统的特点
    本章参考文献
    第3章 晶圆制造AMHS的建模
    3.1 基于网络流模型的晶圆制造AMHS建模
    3.1.1 网络流模型基本理论
    3.1.2 晶圆制造AMHS网络流建模过程
    3.2 基于排队论模型的晶圆制造AMHS建模
    3.2.1 排队论模型基本理论
    3.2.2 晶圆制造AMHS排队论建模过程
    3.3 基于数学规划模型的晶圆制造AMHS建模
    3.3.1 数学规划模型基本理论
    3.3.2 晶圆制造AMHS数学规划建模过程
    3.4 基于马尔可夫模型的晶圆制造AMHS建模
    3.4.1 马尔可夫模型基本理论
    3.4.2 晶圆制造AMHS马尔可夫建模过程
    3.5 基于模型的晶圆制造AMHS建模
    3.5.1 模型基本理论
    3.5.2 晶圆制造AMHS建模过程
    3.6 基于Petri网模型的晶圆制造AMHS建模
    3.6.1 Petri网模型基本理论
    3.6.2 晶圆制造AMHS的Petri网建模过程
    3.7 本章小结
    本章参考文献
    第4章 晶圆制造AMHS运行特分析
    4.1 AMHS运行过程描述
    4.2 常用AMHS运行分析方法
    4.3 晶圆制造AMHS扩展马尔可夫模型
    4.3.1 参数定义与设
    4.3.2 扩展马尔可夫模型定义
    4.3.3 扩展马尔可夫模型的分析过程
    4.3.4 模型有效验
    4.4 基于扩展马尔可夫模型的AMHS运行分析
    4.4.1 运输小车平均利用率分析
    4.4.2 空载运输小车平均到达时间间隔分析
    4.4.3 期望和实际运输量分析
    4.4.4 晶圆卡等待时间分析
    4.4.5 运输小车堵塞相关指标分析
    4.4.6 AMHS运行分析实例
    4.5 本章小结
    本章参考文献
    第5章 晶圆制造AMHS调度方法
    5.1 基于启发式规则的晶圆制造AMHS调度
    5.1.1 启发式规则概述
    5.1.2 启发式规则在晶圆制造AMHS调度中的应用
    5.2 基于运筹学方法的晶圆制造AMHS调度
    5.2.1 运筹学方法概述
    5.2.2 运筹学方法在AMHS调度中的应用
    5.3 基于智能算法的晶圆制造AMHS调度
    5.3.1 智能算法概述
    5.3.2 智能算法在AMHS调度中的应用
    5.4 本章小结
    本章参考文献
    第6章 Interbay物料运输系统调度
    6.1 Interbay物料运输调度问题描述
    6.2 基于AMPHI的Interbay物料运输调度方法
    6.2.1 基于AMPHI的Interbay物料运输调度模型
    6.2.2 基于AMPHI的Interbay物料运输系统调度框架
    6.. Interbay物料运输任务指派
    6.2.4 基于模糊逻辑的参数权重调节
    6.2.5 实例验
    6.3 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度方法
    6.3.1 Interbay物料运输全局优化调度模型
    6.3.2 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度框架
    6.3.3 基于遗传规划的复合规则生成算法
    6.3.4 实例验
    6.4 本章小结
    本章参考文献
    第7章 Intrabay物料运输系统调度
    7.1 Intrabay物料运输调度问题描述
    7.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度方法
    7.2.1 基于GDP的Intrabay物料运输调度模型
    7.2.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度框架
    7.. 基于模糊逻辑的晶圆卡运输动态优先级决策
    7.2.4 基于匈牙利算法的Intrabay物料运输任务指派方法
    7.2.5 基于贪婪优化的运输小车调度策略
    7.2.6 实例验
    7.3 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度方法
    7.3.1 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度框架
    7.3.2 推拉结合的VSL和LSV调度规则
    7.3.3 实例验
    7.4 本章小结
    本章参考文献
    第8章 晶圆制造AMHS集成调度
    8.1 AMHS集成调度问题描述
    8.2 基于PMOGA的AMHS集成调度方法
    8.2.1 基于PMOGA的AMHS集成调度模型
    8.2.2 基于PMOGA的AMHS集成调度框架
    8.. 面向AMHS集成调度的并行多目标遗传算法
    8.2.4 实例验
    8.3 基于GARL的AMHS复合启发式集成调度方法
    8.3.1 AMHS集成调度基本规则
    8.3.2 小车路径库构建
    8.3.3 基于遗传算法的路径智能选择算法
    8.3.4 实例验
    8.4 本章小结
    本章参考文献
    第9章 晶圆制造AMHS调度能评
    9.1 AMHS调度能评的建模需求
    9.2 基于面向多代理的知识有色赋时Petri网模型的AMHS建模方法
    9.2.1 面向多代理的知识有色赋时Petri网的定义
    9.2.2 基于AOCKTPN的AMHS建模过程
    9.. AOKCTPN模型的可行分析
    9.3 基于AOKCTPN的AMHS调度能评
    9.3.1 变迁时间分析
    9.3.2 调度能评指标
    9.3.3 调度能评方法
    9.4 晶圆制造AMHS调度能评实例
    9.4.1 AOKCTPN模型可行的实例验
    9.4.2 基于AOKCTPN的AMHS调度能评
    9.5 本章小结
    本章参考文献
    后记

    张洁,女,上海交通大学教授、博士导师,长期致力于将优选制造技术与优选管理理念和IT技术密切结合的课题研究与开发,并在智能制造系统与大数据技术等方面进行了深入研究并取得了丰硕的成果。主持与参加了自然科学重点项目和面上项目、高技术研究发展计划(863计划)项目、科技重大专项等20多个项目,出版专著5部,发表多篇(其中被SCI收录20余篇,被EI收录40余篇,被ISTP收录10余篇),获得发明专利授权7项。
    秦威,男,上海交通大学讲师、博士导师,2004年于上海交通大学,之后分别于2006年、2011年获清华大学硕士和香港大学博士,长期从事复杂科学,特别是复杂制造系统建模、优化与控制、智能制造、制造大数据分析与挖掘等领域的研究工作。
    吴立辉,男,河南工业大学副教授,硕士导师,2011年获上海交通大学博士,主要研究方向为晶圆制造物料运输系统建模、调度与控制技术,智能物流装备设计及控制。主持和参与自然科学项目、高技术研究发展计划(863计划)项目、科技攻关项目等多个项目,发表30佘篇(其中被SCI、El收录15篇),获发明专利授权3项。

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