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  • 正版新书]集成电路工艺实验谭永胜,方泽波 编9787577013763
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    • 作者: 谭永胜,方泽波 编著 | 谭永胜,方泽波 编编 | 谭永胜,方泽波 编译 | 谭永胜,方泽波 编绘
    • 出版社: 西安电子科技大学出版社
    • 出版时间:2025-01-01
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    • 作者: 谭永胜,方泽波 编著| 谭永胜,方泽波 编编| 谭永胜,方泽波 编译| 谭永胜,方泽波 编绘
    • 出版社:西安电子科技大学出版社
    • 出版时间:2025-01-01
    • 版次:1
    • 印次:1
    • 字数:145000
    • 页数:108
    • 开本:16开
    • ISBN:9787577013763
    • 版权提供:西安电子科技大学出版社
  • 作者: 谭永胜,方泽波 编
  • 著: 谭永胜,方泽波 编
  • 装帧: 平装
  • 印次: 1
  • 定价: 42
  • ISBN: 9787577013763
  • 出版社: 电子科技大学出版社
  • 开本: 16开
  • 印刷时间: 暂无
  • 语种: 暂无
  • 出版时间: 2025-01-01
  • 页数: 108
  • 外部编号: 庄村6783
  • 版次: 1
  • 成品尺寸: 暂无

  • 概述



    硅集成电路工艺简介



    一、清洗工艺



    二、氧化工艺



    三、扩散工艺



    四、离子注入工艺



    五、光刻工艺



    六、蒸发工艺



    七、溅射工艺



    八、等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺



    实验一清洗工艺



    一、引言



    二、实验目的



    三、实验原理



    四、实验内容



    五、实验步骤



    六、思考题



    ……

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