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正版新书]MEMS传感器接口ASIC集成技术刘晓为9787118085150
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第l章 引言
1.1 MEMS集成传感器
1.2 MEMS传感器接口电路集成技术特点及发展现状
1.2.1 主要技术特点
1.2.2 国内外发展趋势
参考文献
第2章 微加速度计接口ASIC集成技术
2.1 电容式加速度计接口电路
2.1. l 电容式微加速度计的工作原理
2.1.2 电容式加速度计接口电路
2.1. 3 哈尔滨工业大学设计的闭环电容式加速度计接口电路
2.2 集成压阻式加速度计接口电路
2.2.1 压阻式加速度计的工作原理
2. 2.2 压阻式加速度计接口ASIC
2. 3 集成压电式加速度计接口电路
2. 3. l 压电式加速度计工作原理
2.3. 2 压电式加速度计接口电路
2.4 集成谐振式加速度计接口电路
2.4. l 谐振式加速度计工作原理
2.4. 2 谐振式加速度计接口电路
2.5 集成热对流武加速度计接口电路
2.5. 1 热对流加速度计的工作原理
2.5. 2 热对流加速度计接口电路
2.6 集成多轴加速度计接口电路
参考文献
第3章 微机械陀螺接口ASIC集成技术
3.1 硅微机械陀螺
3.1. 1 微机械陀螺等效电学模型
3.1.2 接口电路原理
3. 1.3 PCB混合集成电路
3.2 石英微机械陀螺接口ASIC
3.2. 1 石英微机械陀螺基本原理
3.2. 2 石英微机械陀螺接口电路
3.3 典型集成微陀螺产品及应用
3.3.1 ADXRS300
3. 3.2 ADXRS614
参考文献
第4章 磁传感器接口ASIC集成技术
4.1 各向异性磁阻传感器
4.1. 1 各向异性磁阻传感器原理
4.1. 2 各向异性磁阻接口ASIC电路
4.2 巨磁阻传感器
4.2.1 巨磁阻传感器原理
4. 2.2 巨磁阻传感器接口ASIC
4.3 巨磁阻抗传感器
4.3. 1 巨磁阻抗传感器原理
4. 3.2 巨磁阻抗传感器接口ASIC
4.4 磁通门传感器
4.4. 1 磁通门传感器原理
4. 4.2 等效电学模型
4.4.3 磁通门传感器接口ASIC
参考文献
第5章 MEMS压力传感器等接口ASIC集成技术
5.1 集成压力传感器
5.1. l 集成压力传感器分类
5. 1.2 集成压力传感器结构及工作原理
5.1.3 压力传感器接口电路
5.1. 4 典型集成压力传感器产品及应用
5.1.5 国外各大公司集成压力传感器部分产品一览
5.2微(型)麦克风
5.2.1 常见麦克风的种类
5. 2.2 MEMS微麦克风
5.2.3 电容式麦克风的工作原理
5.2. 4 微麦克风接口电路
5. 2.5 典型产品及应用
5.3 MEMS红外传感器及接口电路
5.3.1 MEMS红外传感器工作原理
5.3.2 接口电路及单片集成
参考文献
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