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  • 正版新书]MEMS技术前沿与应用发展尤政9787118119473
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    • 作者: 尤政著 | 尤政编 | 尤政译 | 尤政绘
    • 出版社: 国防工业音像出版社
    • 出版时间:2019-10-01
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    • 作者: 尤政著| 尤政编| 尤政译| 尤政绘
    • 出版社:国防工业音像出版社
    • 出版时间:2019-10-01
    • 版次:1
    • 印次:1
    • 印刷时间:2019-10-01
    • 字数:438000
    • 页数:348
    • 开本:16开
    • ISBN:9787118119473
    • 版权提供:国防工业音像出版社
    • 作者:尤政
    • 著:尤政
    • 装帧:平装
    • 印次:1
    • 定价:188
    • ISBN:9787118119473
    • 出版社:国防工业出版社
    • 开本:16开
    • 印刷时间:2019-10-01
    • 语种:中文
    • 出版时间:2019-10-01
    • 页数:348
    • 外部编号:涿仝西I32919
    • 版次:1
    • 成品尺寸:暂无

    章 绪论

    1.1 MEMS的概念

    1.2 MEMS的历史

    1.3 MEMS的特点

    1.4 MEMS与IC的区别

    1.5 MEMS的现状及应用领域

    参考文献

    第2章 MEMS制造与集成技术

    2.1 绪论

    2.2 MEMS制造技术发展

    2.2.1 硅微加工技术概述

    2.2.2 非硅微加工技术概述

    2.. 加工制造技术

    2.2.4 材料制备技术

    2.2.5 MEMS器件封装技术

    . MEMS制造技术应用实例

    ..1 MEMS制造技术应用实例

    2.4 集成技术发展

    2.4.1 集成技术发展

    2.4.2 微纳器件的三维集成

    2.4.3 微纳器件的系统集成

    2.5 MEMS集成技术应用实例

    2.5.1 军事应用

    2.5.2 航天应用

    2.5.3 生物应用

    2.5.4 产业进展

    2.6 MEMS制造与集成技术展望

    2.7 本章小结

    参考文献

    第3章 MEMS测试技术

    3.1 绪论

    3.2 测试技术发展历程

    3.2.1 测试技术历史回顾

    3.2.2 测试技术的国内外发展现状

    3.3 测试技术发展关键技术

    3.4 测试技术应用实例

    3.4.1 MEMS继电器测试

    3.4.2 MEMS扫描微镜测试

    3.5 本章小结

    参考文献

    第4章 惯MEMS技术

    4.1 绪论

    4.2 MEMS加速度计

    4.2.1 单轴电容检测式MEMS加速度计

    4.2.2 三轴电容检测式MEMS加速度计

    4.. 检测方式的MEMS加速度计

    4.3 MEMS陀螺

    4.3.1 振动式MEMS陀螺

    4.3.2 转子式微陀螺

    4.3.3 微光机电陀螺

    4.4 微惯测量单元

    4.4.1 微组装惯测量单元

    4.4.2 单片集成惯测量单元

    4.5 惯器件发展趋势

    4.6 本章小结

    参考文献

    第5章 RF MEMS技术

    5.1 绪论

    5.2 技术发展

    5.2.1 RF MEMS开关的研究

    5.2.2RF MEMS移相器的研究

    ……

    第6章 微能源MEMS技术

    第7章 Bio-MEMS技术

    第8章 可穿戴/植入MEMS技术

    第9章 空间MEMS技术

    0章 环境MEMS技术

    1章 MEMS的新原理和新效应

    2章 MEMS产业化

    参考文献

    售后保障

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