目 录
第1章 绪论 1
1.1 精密与超精密加工的产生与特点 1
1.2 特种加工的产生与特点 3
1.3 精密与特种加工的分类 4
1.4 特种加工技术对机械制造工艺的影响 9
1.5 精密与特种加工技术的地位与发展趋势 10
1.5.1 精密与特种加工技术的地位 10
1.5.2 精密与特种加工技术的发展趋势 10
思考题 11
第2章 精密与超精密切削加工技术 12
2.1 概述 12
2.2 精密与超精密切削机理 14
2.2.1 概述 14
2.2.2 切屑的形成 14
2.2.3 加工表面的形成 15
2.2.4 表面破坏层及应力状态 16
2.3 金刚石具 17
2.3.1 金刚石的结构与性能 18
2.3.2 金刚石晶体的定向 19
2.3.3 金刚石具的设计 20
2.4 精密与超精密切削加工的应用 21
2.4.1 精密与超精密车削加工 21
2.4.2 精密与超精密铣削 23
思考题 25
第3章 精密与超精密磨料加工技术 26
3.1 概述 26
3.2 精密与超精密磨削加工 27
3.2.1 精密与超精密砂轮磨削加工 27
3.2.2 砂带磨削加工 33
3.3 精密研磨与抛光加工 36
3.3.1 精密研磨与抛光加工机理 36
3.3.2 保证精密研磨与抛光的工艺因素 37
3.3.3 精密研磨与抛光工具 38
3.3.4 研磨抛光新工艺 39
3.4 光整加工 41
3.4.1 珩磨加工 42
3.4.2 超精加工 46
思考题 49
第4章 热作用特种加工技术 50
4.1 电火花加工 50
4.1.1 电火花加工的基本原理、分类与应用 50
4.1.2 电火花加工机理 53
4.1.3 电火花加工机床 56
4.1.4 电火花加工工具电极的制备 70
4.1.5 电火花加工的基本工艺规律 73
4.1.6 电火花加工的典型应用 82
4.2 电火花线切割加工 90
4.2.1 电火花线切割加工原理、特点及应用范围 90
4.2.2 电火花线切割加工设备 92
4.2.3 电火花线切割加工控制系统和编程 96
4.2.4 电火花线切割加工工艺指标及影响因素 102
4.2.5 电火花线切割加工的扩展应用 105
4.3 激光加工 107
4.3.1 激光加工原理及典型激光器 107
4.3.2 激光加工主要应用领域 110
4.4 电子束加工 118
4.4.1 电子束加工设备与加工机理 118
4.4.2 电子束加工主要应用领域 120
4.4.3 电子束加工的优点与局限性 122
思考题 123
第5章 电化学作用特种加工技术 125
5.1 概述 125
5.1.1 基本原理 125
5.1.2 基本概念 126
5.1.3 分类与特点 130
5.2 电解加工 130
5.2.1 电解加工过程及工艺特点 131
5.2.2 电解加工设备 133
5.2.3 电解加工主要工艺指标及其影响因素 139
5.2.4 电解加工主要应用领域 143
5.3 电沉积加工 151
5.3.1 电铸加工 151
5.3.2 涂镀加工 154
5.3.3 复合电镀加工 156
思考题 157
第6章 化学作用特种加工技术 158
6.1 化学铣切加工 158
6.1.1 化学铣切加工原理、特点及应用范围 158
6.1.2 化学铣切加工工艺流程 159
6.2 光化学腐蚀加工 161
6.2.1 概述 161
6.2.2 光化学腐蚀加工原理 162
6.2.3 光化学腐蚀加工工艺流程 162
6.2.4 光化学腐蚀加工应用举例 167
6.3 化学抛光 169
6.3.1 化学抛光的机理和特点 169
6.3.2 化学抛光的工艺条件及应用 170
6.4 化学镀加工 172
思考题 173
第7章 机械作用特种加工技术 174
7.1 超声波加工 174
7.1.1 概述 174
7.1.2 超声波加工原理 175
7.1.3 超声波加工设备 177
7.1.4 超声波加工主要工艺指标的影响因素 184
7.1.5 超声波加工主要应用领域 186
7.2 水射流加工 189
7.2.1 概述 189
7.2.2 水射流加工设备 191
7.2.3 水射流加工工作参数 192
7.2.4 水射流加工主要应用领域 193
7.3 离子束加工 194
7.3.1 离子束加工原理、分类与特点 194
7.3.2 离子束加工主要应用领域 196
7.4 挤压珩磨加工 198
7.4.1 挤压珩磨加工机理 199
7.4.2 挤压珩磨加工工艺系统 199
7.4.3 挤压珩磨加工主要应用领域 201
7.5 磁性磨料研磨加工 202
7.5.1 加工机理 203
7.5.2 磁性磨料 203
7.5.3 磁性磨料研磨装置 204
7.5.4 主要应用领域 205
思考题 206
第8章 复合或组合能量作用特种加工技术 207
8.1 概述 207
8.2 电化学复合加工 207
8.2.1 电解磨削 207
8.2.2 电解珩磨 214
8.2.3 电解研磨 215
8.2.4 电化学机械复合抛光 215
8.2.5 超声波辅助电化学加工 217
8.2.6 激光辅助电解加工 218
8.2.7 电解电火花复合加工 218
8.3 热作用复合加工 220
8.3.1 磨削放电加工 220
8.3.2 超声波辅助电火花加工 221
8.4 化学复合加工 223
8.4.1 机械-化学复合抛光 223
8.4.2 化学-机械复合抛光 225
8.5 LIGA和准LIGA技术 226
8.5.1 LIGA技术 227
8.5.2 准LIGA技术 228
思考题 230
第9章 增材制造技术 231
9.1 概述 231
9.2 增材制造技术的典型工艺与应用 232
9.2.1 光固化成形 232
9.2.2 熔融沉积成形 233
9.2.3 激光选区烧结成形 235
9.2.4 三维立体打印 237
9.2.5 材料喷射成形 239
9.3 其他增材制造工艺 240
9.3.1 激光选区熔化成形 240
9.3.2 激光近净成形 242
9.3.3 电子束熔丝沉积 243
9.4 增材制造技术的应用与发展 244
思考题 245
第10章 微纳米加工技术与微纳机电系统 246
10.1 半导体加工工艺 246
10.1.1 光刻 247
10.1.2 体硅微结构加工技术 248
10.1.3 面硅微结构加工技术 250
10.1.4 键合技术 254
10.2 纳米技术与纳米加工 254
10.2.1 扫描探针加工技术 255
10.2.2 电子束直写光刻技术 255
10.2.3 聚焦离子束技术 256
10.2.4 纳米压印技术 256
10.3 微纳机电系统 258
思考题 259
参考文献 260
本书涵盖了原机械制造类专业教学中精密与超精密加工、特种加工、微细加工与微机电系统、增材制造技术等课程内容，以系统地阐述精密与特种加工工艺为目的，以加工过程的主要能量形式为主线，以实现物理、化学和复合/组合加工的综合交叉为重点，全面构建了集精细加工、特种加工和复合/组合加工等技术为一体的课程内容；阐明了现代加工技术的基本原理与方法，注重培养和激发读者的创新思维和创新能力。全书共10章，主要内容包括精密/超精密切削与磨料加工、热/电化学/化学/机械等能量作用的特种加工及其复合/组合加工、增材制造、微纳制造与微机电系统等。
内容实用，实例丰富。
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