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正版 生化MEMS器件 王晓洁[等]著 国防工业出版社 9787118102932
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第1章绪论1.1MEMS的发展1.2生化MEMS的发展1.3我国生化MEMS的研究1.4本书的主要内容第2章微型泵和微型阀2.1概述2.1.1微型泵和微型阀的应用背景2.1.2微型阀的研究概况2.1.3微型泵的研究概况2.2关键体硅工艺研究2.2.1体硅各向异性腐蚀工艺2.2.2牺牲层腐蚀技术2.2.3深层重掺杂自停止腐蚀技术2.2.4双面光刻技术2.2.5凸角腐蚀补偿2.3微型泵的工作机理2.3.1弹性薄板变形分析2.3.2压电致动2.3.3双层压电梁致动分析2.4其他致动方式2.4.1热双金属致动2.4.2静电致动2.4.3电磁致动2.5微型阀的过流特性分析2.5.1引言2.5.2沿程损失2.5.3单晶硅微型阀的建模、仿真和测试2.5.4聚酰亚胺微型阀的建模、仿真和测试2.6微型机电系统的等效网络分析方法2.6.1引言2.6.2微型泵的等效电路网络模型2.6.3压电致动微型泵的性能仿真2.6.4压电致动微型泵的性能测试参考文献第3章微型悬臂梁生化传感器3.1微型悬臂梁传感器3.1.1微型悬臂梁传感器的结构与敏感机理3.1.2微型悬臂梁传感器的应用3.2微型悬臂梁传感器的模型与设计3.2.1基本理论3.2.2连续层合薄板模型3.2.3非连续层合薄板模型3.3微型悬臂梁传感器的制造方法3.3.1表面微加工技术3.3.2体微加工技术3.4微型悬臂梁生化检测传感器3.4.1化学传感器3.4.2生物传感器参考文献第4章基于MEMS的FAIMS检测技术4.1FAIMS简介4.1.1什么是FAIMS4.1.2FAIMS的研究背景4.1.3高场非对称波形离子迁移谱的基本理论4.1.4FAIMS技术的国内外研究现状和发展趋势4.2影响FAIMS的各种因素4.2.1离子在迁移区中运动的分析4.2.2离子在迁移区的分布4.2.3迁移管的响应特性4.2.4迁移管的饱和电流4.2.5迁移管的阻抗4.2.6迁移管的功率4.2.7FAIMS的灵敏度和分辨力4.2.8重叠峰的解析4.3离子源设计4.3.1离子化方案选择4.3.2电晕放电离子源4.3.3大气辉光放电离子源4.4高压高频不对称波形电源的设计4.4.1基于功率MOSFET的脉冲源系统方案4.4.2脉冲源系统各单元电路设计4.4.3开关电路的设计4.4.4功率MOSFET相关电路仿真4.5离子检测4.5.1几种常用的离子检测方法4.5.2机械式法拉第筒设计与实验4.5.3微法拉第筒设计4.5.4微法拉第筒仿真4.5.5微法拉第筒工艺4.5.6微法拉第筒测试4.6样品分析实验4.6.1FAIMS芯片实验系统4.6.2方波射频电压幅值变化对FAIMS灵敏度的影响4.6.3射频电压幅值、频率和载气流速对2-戊酮FAIMS检测结果的影响4.6.4FAIMS芯片检测限实验参考文献第5章基于MEMS的细胞操作与分析技术5.1概述5.2基于MEMS的细胞操作技术5.2.1细胞的操纵、分选和捕获5.2.2细胞的注入5.3基于MEMS的细胞监测与分析技术5.3.1基于微电极的细胞电阻抗监测与分析技术5.3.2膜片钳芯片细胞监测与分析技术5.3.3其他MEMs细胞监测与分析技术5.4纳米技术在细胞操作与分析中的应用参考文献
本书选择了受到国家项目支持的几个技术主题,在微型泵和微型阀、微悬臂梁生化传感器、微型FAIMS、微光谱仪、基于MEMS的细胞操作与分析技术等几个方面,系统介绍了我国在生化MEMS方面的研究成果。这几个技术主题从器件结构上和敏感技术上,都有独到的特点。
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