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正版 高新制造业静电与微污染控制
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第1章污染控制基础知识
1.1概述
1.1.1污染源
1.1.2污染附着力
1.1.3污染控制方法
1.2污染控制术语
1.3空气污染和表面污染
1.4污染来源
1.5污染控制要求
1.5.1尘埃粒子要求
1.5.2化学气相污染控制限值
1.5.3离子污染控制限值
1.5.4电磁污染控制限值
1.5.5表面污染率和空气电离
1.5.6接触传递和原位污染
1.5.7气流要求
1.5.8压力要求和外壳排气
……
本书针对航空航天、电子半导体、制药和医疗器械等高科技制造行业所涉及的污染与静电放电控制方式、方法进行了深入探讨。系统阐述了污染控制与静电放电控制的内在联系,纠正了洁净室中不能同时采取污染控制与静电放电控制措施以保证洁净度要求的错误观念,从工作区设计、材料选择、工具使用、过程检测、清洁维护、包装运输、管理措施、审核认证等方面全方位提出了污染与静电放电控制要求,同时通过标准和案例对污染和静电放电控制的工程与技术细节进行了阐述分析。
随着科技的发展,越来越多的行业认识到污染和静电放电(ESD)是影响产量和可靠性的重要因素。例如,过去人们通常认为污染能够影响诸如半导体、磁盘驱动器、航空航天、制药和医疗器械等行业的发展,如今则发现,污染对汽车、粮食生产和食品加工等行业的影响也很大,行业发展也得益于污染控制技术的进步。静电放电控制技术及其应用亦是如此,受到了各行各业的日益关注。
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