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SiC材料表面处理——飞秒激光微纳制备及其瞬态物理过程 和万霖 著 专业科技 文轩网
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SiC材料表面处理——飞秒激光微纳制备及其瞬态物理过程
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针对当前飞秒激光微加工的热点问题,本书主要介绍了飞秒激光在半导体材料表面快速、高效制备高精度、高质量表面周期微纳米结构的方法,通过泵浦-探测技术和飞秒激光多维光场的精准操控,在sic材料表面制备了高质量的微纳米颗粒结构、光栅状表面周期条纹结构和二维“微岛”阵列结构,系统探究了光场操控对材料界面微纳米结构的调控机制;分析并讨论了表面等离激元与瞬态折射率光栅超表面在激光诱导表面周期结构形成过程中的重要作用,基于飞秒激光多光束泵浦-探测技术,获得了超强飞秒激光脉冲辐照半导体材料表面瞬态物理过程随时间的演化图景。本书可供从事与光学学科相关,尤其是从事激光微纳制备研究工作的师生及科研人员学习和参考。
和万霖,男,工学博士,中国光学学会会员,西安石油大学理学院讲师。2017年毕业于南开大学现代光学研究所,获得光学工程工学博士学位。主要从事光学工程学科方面的教学和科研工作,研究方向为飞秒激光微纳结构制备及其光学特性研究。目前主持一项国家自然科学基金项目,参与国家自然科学基金面上项目2项,在靠前知名学术期刊上发表学术论文5篇(SCI收录)。先后给本科生主讲《激光技术及应用》《大学物理实验》等课程。
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