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  • 微机电系统工程基础 蒋永刚 编 大中专 文轩网
  • 新华书店正版
    • 作者: 暂无著
    • 出版社: 北京航空航天大学出版社
    • 出版时间:2023-06-01 00:00:00
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    商品参数
    • 作者: 暂无著
    • 出版社:北京航空航天大学出版社
    • 出版时间:2023-06-01 00:00:00
    • 版次:1
    • 印次:2
    • 印刷时间:2024-01-01
    • 字数:256000
    • 页数:160
    • 开本:16开
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787512440227
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:北京航空航天大学出版社

    微机电系统工程基础

    作  者:蒋永刚 编
    定  价:39
    出 版 社:北京航空航天大学出版社
    出版日期:2023年06月01日
    页  数:160
    装  帧:平装
    ISBN:9787512440227
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    内容简介

    本书作为微机电系统工程的入门教材,介绍微机电系统加工工艺及设计基础。全书共11章:第1章介绍微机电系统的概念、历史及发展趋势;第2章介绍微纳工程材料基础;第3章介绍光刻技术及其他优选图形化技术;第4章介绍表面微纳加工技术,包括热氧化与掺杂工艺、物理气相沉积、化学气相沉积和电铸技术;第5章介绍微纳刻蚀加工技术,包括湿法加工、等离子体刻蚀等;第6章介绍键合、封装工艺及其与集成电路的集成技术;第7章为微纳加工工艺综合,举例介绍典型结构的微纳加工工艺流程;作为微机电系统的设计基础,第8章介绍电子学与机械学的基本概念;第9章讲解换能器原理与典型材料结构;第10章以压力传感器为例介绍MEMS传感器设计;第11章简介微纳驱动器和执行器的基本原理与前沿应用案例。
    本书具有很强的针对性、实用性和指导性,可以作为高等院校微机电系统工程专业的本科生及研究生教材,也可以作为从事微机电系统、微电子、传感null

    作者简介

    精彩内容

    目录
    第1章微机电系统概述
    1.1微机电系统的概念
    1.2微机电系统工程的历史
    1.3微机电系统工程的发展趋势
    练习题
    第2章MEMS材料基础
    2.1硅及其化合物
    2.2玻璃
    2.3压电材料
    2.4磁性材料
    2.5形状记忆合金
    2.6光刻胶
    2.7有机聚合物材料
    练习题
    第3章光刻及图形转移
    3.1光刻的基本原理与流程
    3.1.1光刻的基本原理
    3.1.2光刻的基本过程
    ……

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