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微纳运动实现技术 冯显英,杜付鑫 著 专业科技 文轩网
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微纳运动实现技术
本书介绍了微纳米技术领域的各种微纳运动系统及相关实现技术。全书共7章:第1章主要是微纳技术及微纳技术应用与发展的综述;第2章主要介绍了基于智能材料的常见的微纳驱动技术类型及特性;第3章主要介绍了微纳运动检测技术;第4章概括性地介绍了微纳运动系统控制策略;第5章介绍了基于直线电机的单自由度微纳定位实现技术,主要是电磁式和压电超声式两种情况;第6章主要介绍了单自由度宏微复合微纳运动实现技术,并讨论了非线性因素对微纳运动性能的影响和补偿策略;第7章重点介绍了本书作者提出的宏宏复合微纳运动实现技术、性能特点及低速性能。本书具有很强的针对性、概括性和指导性。通过本书,读者可以系统、全面地了解各种微纳运动实现技术。本书可作为机电工程、控制工程、仪器科学与工程、材料科学工程,以及微电子科学等方面本科生、研究生关于微纳制造的导论性教材,同时也可作为医工交叉学科及其他相关领域研究生和广大科学工作者、工程技术null
本书介绍了微纳米技术领域的各种微纳运动系统及其相关实现技术。全书共7章:第1章主要是微纳技术及微纳技术应用与发展的综述;第2章主要介绍了基于智能材料的常见的微纳驱动技术类型及特性;第3章主要介绍了微纳运动检测技术;第4章概括性地介绍了微纳运动系统控制策略;第5章介绍了基于直线电机的单自由度微纳定位实现技术,主论了电磁式和压电超声式两种情况;第6章主要介绍了单自由度宏微复合微纳运动的实现技术,并讨论了非线性因素对微纳运动性能的影响和补偿策略;第7章重点介绍了本书作者提出的宏宏复合微纳运动的实现技术、性能特点及低速性能。 本书具有很强的针对性、概括性和指导性。通过本书,读者可以系统、全面地了解各种微纳运动实现技术。本书可作为精密机械工程、机电工程、控制工程、仪器科学与工程、材料科学工程、微电子科学等专业本科生、研究生关于微纳制造的导论性教材,同时也可作为医工交叉学科及其他相关领域研null
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