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微机电系统(第2版) 苑伟政,乔大勇,虞益挺 编 生活 文轩网
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微机电系统(第2版)
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本书是在教育部对研究生推荐教材《微机械与微细加工技术》的基础上,结合微机电系统(MEMS)领域新的研究成果编著而成的。全书分为6章,分别介绍了MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面,该书结合大量工艺实例,易于学生理解,有助于提高其动手能力;对各种典型微机电器件的介绍,大部分来源于实验室的课题研究实例,内容充实新颖。本书可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统相关课程的教材,也可供工程技术等专业人员参考。
苑伟政:西北工业大学教授,博士生导师,机电学院院长;教育部“长江学者”特聘教授,国际知名的MEMS与微纳制造学科带头人,第25届世界微机械峰会主席;兼任中国微纳米技术学会会士,中国机械工程学会常务理事,中国微纳执行器与微系统学会理事长等,为中央军委科技委领域专家委员会委员、教育部科技委优选制造学部委员。主要从事微机电系统以及微纳制造方面的研究。
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