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  • 微机电系统工程基础 王琪民 刘明侯 著 著 专业科技 文轩网
  • 新华书店正版
    • 作者: 王琪民 刘明侯著
    • 出版社: 中国科学技术大学出版社
    • 出版时间:2010-06-26 00:00:00
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         https://product.suning.com/0070067633/11555288247.html

     

    商品参数
    • 作者: 王琪民 刘明侯著
    • 出版社:中国科学技术大学出版社
    • 出版时间:2010-06-26 00:00:00
    • 版次:0
    • 印次:0
    • 印刷时间:2010-01-01
    • 页数:0
    • 开本:16开
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787312024689
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:中国科学技术大学出版社

    微机电系统工程基础

    作  者:王琪民 刘明侯 著 著
    定  价:38
    出 版 社:中国科学技术大学出版社
    出版日期:2010年06月26日
    页  数:0
    装  帧:平装
    ISBN:9787312024689
    主编推荐

    内容简介

    本书共11章,较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等,还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识,分析了微系统中的工程特点,与传统工程科学的区别,传统理论在微机电系统应用中所受到的及其修正,微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。

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