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  • 精密纳米计量学——用于纳米制造的传感器和测量系统 (日)高伟 著 李雷 等 译 专业科技 文轩网
  • 新华书店正版
    • 作者: [日]高伟(Wei Gao)著著 | | 李雷 赵昭 张慧 王文娟 等译译
    • 出版社: 国防工业出版社
    • 出版时间:2022-04-01 00:00:00
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         https://product.suning.com/0070067633/11555288247.html

     

    商品参数
    • 作者: [日]高伟(Wei Gao)著著| 李雷 赵昭 张慧 王文娟 等译译
    • 出版社:国防工业出版社
    • 出版时间:2022-04-01 00:00:00
    • 版次:1
    • 印次:1
    • 字数:242000
    • 页数:256
    • 开本:其他
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787118124668
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:国防工业出版社

    精密纳米计量学——用于纳米制造的传感器和测量系统

    作  者:(日)高伟 著 李雷 等 译
    定  价:98
    出 版 社:国防工业出版社
    出版日期:2022年04月01日
    页  数:256
    装  帧:平装
    ISBN:9787118124668
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    内容简介

    《精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统》由(日)高伟著

    作者简介

    精彩内容

    目录
    第1章测量表面斜率和倾斜运动的角度传感器
    1.1概述
    1.2带有象限光电二极管的角度传感器
    1.3带有光电二极管阵列的角度传感器
    1.4带有单单元光电二极管的角度传感器
    1.5小结
    参考文献
    第2章用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪
    2.1概述
    2.2双轴激光自准直仪
    2.3单镜头激光微型自准直仪
    2.4三轴激光自准直仪
    2.5小结
    参考文献
    第3章用于测量面内运动的表面编码器
    3.1概述
    3.2用于MDOF面内运动的表面编码器
    ……

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