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微纳加工基础技术与方法 李岩,颜文煅 编 大中专 文轩网
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微纳加工基础技术与方法
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本书系统介绍了各种精密加工方法,将超精密微加工法和表面加工方法的基础原理和技术做了融合。全书共分为十一章,主要介绍了激光束加工方法、电子束加工方法、离子束加工方法、其他粒子束加工方法、化学刻蚀法、放电加工等基本方法;并介绍了精密加工所涉及的主要表面处理技术,包括表面处理沉淀法、离子束表面处理法、溅射法、化学气相沉积法和精密镀等。本书对传统的加工方法进行了精选,去掉了繁冗的细节,保留了必要的理论基础,并增加了微纳加工技术新工艺及其发展趋势。本书可作为机械制造及其自动化专业的研究生和本科生教材,同时也可供从事机械制造精密加工的工作者和科研人员阅读。
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