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  • 纳米加工技术与原理 [加拿大] Maria Stepanova,Steven Dew 著 专业科技 文轩网
  • 新华书店正版
    • 作者: [加拿大] Maria Stepanova,Steven Dew著
    • 出版社: 国防工业出版社
    • 出版时间:2021-07-01 00:00:00
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         https://product.suning.com/0070067633/11555288247.html

     

    商品参数
    • 作者: [加拿大] Maria Stepanova,Steven Dew著
    • 出版社:国防工业出版社
    • 出版时间:2021-07-01 00:00:00
    • 版次:1
    • 开本:其他
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787118123227
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:国防工业出版社

    纳米加工技术与原理

    作  者:[加拿大] Maria Stepanova,Steven Dew 著
    定  价:119
    出 版 社:国防工业出版社
    出版日期:2021年07月01日
    页  数:
    装  帧:精装
    ISBN:9787118123227
    主编推荐

    内容简介

    本书为电子、材料以及物理等领域的科学家和工程师更新纳米结构加工的近期新核心技术。主要内容包括亚25nm图形的光刻技术,纳米尺度精度的沉积技术,纳米尺度的图形刻蚀技术等。本书的亮点不是为了延展微电子制造工艺,而是更多聚焦于可在纳机电系统、生物传感器、纳米材料、光子晶体以及其它新型器件结构等革命性技术领域应用的图形加工技术。

    作者简介

    段辉高,男,1982年8月出生于湖南衡阳,现任湖南大学物理与微电子科学学院教授,博士生导师,主要研究方向为新型纳米加工技术。

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