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  • 薄膜材料与薄膜技术(二版) 郑伟涛 著 专业科技 文轩网
  • 新华书店正版
    • 作者: 郑伟涛著
    • 出版社: 化学工业出版社
    • 出版时间:2008-01-01 00:00:00
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         https://product.suning.com/0070067633/11555288247.html

     

    商品参数
    • 作者: 郑伟涛著
    • 出版社:化学工业出版社
    • 出版时间:2008-01-01 00:00:00
    • 版次:2
    • 印次:12
    • 印刷时间:2021-08-01
    • 字数:390000
    • 页数:260
    • 开本:16开
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787122013149
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:化学工业出版社

    薄膜材料与薄膜技术(二版)

    作  者:郑伟涛 著
    定  价:49
    出 版 社:化学工业出版社
    出版日期:2008年01月01日
    页  数:260
    装  帧:平装
    ISBN:9787122013149
    主编推荐

    内容简介

    本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识,重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征,对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。
    作者简介

    精彩内容

    目录
    章 真空技术基础
    节 真空的基本知识
    一、表示真空程度的单位
    二、真空区域的划分
    三、固体对气体的吸附及气体的脱附
    第二节 真空的获得
    一、旋片式机械真空泵
    二、复合分子泵
    三、低温泵
    第三节 真空的测量
    一、电阻真空计
    二、热偶真空计
    三、电离真空计
    参考文献
    第二章 薄膜制备的化学方法
    节 热氧化生长
    第二节 化学气相沉积
    一、一般化学气相沉积反应
    二、化学气相沉积制备薄膜的传统方法
    三、激光化学气相沉积
    四、光化学气相沉积
    五、等离子体增强化学气相沉积
    第三节 电镀
    第四节 化学镀
    第五节 阳极反应沉积
    第六节 LB技术
    参考文献
    第三章 薄膜制备的物理方法
    节 真空蒸发
    一、真空蒸发沉积的物理原理
    二、真空蒸发技术
    第二节 溅射
    一、溅射的基本原理
    二、溅射镀膜的特点
    三、溅射参数
    四、溅射装置
    第三节 离子束和离子助
    一、离子镀
    二、阴极电弧等离子体沉积
    三、热空阴极枪蒸发
    四、离子轰击共沉积
    五、非平衡磁控离子助沉积
    六、离子束沉积
    第四节 外延生长
    一、分子束外延(MBE)
    二、液相外延生长(LPE)
    三、热壁外延生长(HWE)
    四、有机金属化学气相沉积(MOCVD)
    参考文献
    第四章 薄膜的形成与生长
    节 形核
    一、凝聚过程
    二、LangmuIR-Frenkel凝聚理论
    三、成核理论
    四、实验结果
    第二节 生长过程
    一、一般描述
    二、类液体合并
    三、沉积参数的影响
    第三节 薄膜的生长模式
    第四节 远离平衡态薄膜生长
    一、粗糙表面的结构和生长
    二、简单模型
    三、薄膜生长模型的实验研究
    参考文献
    第五章 薄膜表征
    节 薄膜厚度控制及测量
    一、沉积率和厚度监测仪
    ……
    第六章 薄膜材料
    参考文献

    售后保障

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