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低温等离子体诊断原理与技术 叶超 编 专业科技 文轩网
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低温等离子体诊断原理与技术
无
本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程,到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用,较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识,总结了该领域近年来的一些新进展,提供了低温等离子体诊断应用的实例。本书可供从事低温等离子体物理、薄膜物理、微电子材料与器件、材料科学与工程、等离子体化学等应用研究的相关科研和工程技术人员参考,以及在上述专业的研究生或高年级本科生的课程中使用。本书亦可作为从事等离子体其他领域工作的科研和教学参考书。
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