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微机电系统(MEMS)制造技术 苑伟政,乔大勇 著 专业科技 文轩网
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微机电系统(MEMS)制造技术
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《微机电系统(MEMS)制造技术》主要论述微机电系统(MEMS)制造技术,《微机电系统(MEMS)制造技术》共9章。第1章阐述MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势;第2章介绍MEMS制造的材料基础;第3章阐述MEMS制造中的沾污及洁净技术;第4章阐述包括光刻技术和软光刻技术在内的图形转移技术;第5章阐述湿法腐蚀与干法刻蚀技术;第6章阐述氧化、扩散与注入技术;第7章介绍各种薄膜制备技术;第8章介绍包括表面牺牲层工艺、体加工工艺和混合工艺在内的MEMS加工标准化工艺;第9章阐述MEMS的芯片级和圆片级封装工艺。《微机电系统(MEMS)制造技术》结合大量设备操作实例和工艺实例,贴近实践,易于理解。同时,考虑到MEMS加工工艺过程涉及大量化学品的使用,还专门以附录的形式对孔MEMS制造常用化学品物质安全资料表和基本化学品安全术语进行了介绍。 本书适合作为MEMS相关专业研究生教材null
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