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MEMS系统级建模
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本书是目前国内外专享叙述微机电系统(MEMS)系统级建模的专著。 MEMS技术发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切需求,以便优化包括MEMS元件、控制和读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求,本书全面论述了MEMS系统级建模技术,内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础,包括广义基尔霍夫网络理论基础,模型降阶技术的理论背景,系统级仿真算法以及协同仿真。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术,包括基于矩匹配的线性模型降阶技术及其在电热模型中的应用,基于投影的模型降阶技术及其在微流体、RF MEMS开关等模型中的应用,基于模态叠加的非线性模型降阶技术及其在MEMS陀螺仪模型中的应用,静电执行器的线性与非线性模型降阶技术。第四部分null
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