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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础 孙以材,庞冬青 著 专业科技 文轩网
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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础
《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》着重于MEMS元件设计中的有限元静电场和电流场,温度场,MEMS元件各向同性应力场和各向异性应变分析及压电效应介绍。《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》重点还放在MEMS元件制造,包括硅片腐蚀加工和硅片键合,封装和引线。编者在上述各方面曾作过许多研究,完成多项科研任务,有一定的经验和收获。
《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》还详细介绍了电学,热学和力学有限元方法的要领,相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》,可以为MEMS元件的设计和制造打下较好的基础,从而可以灵活应用所学知识。MEMS技术是21世纪发展的重大技术,涉及国防、航天、医疗等领域。《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的,阐述其功能,所依据的物理原理及定律。 《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读,也可供大专院校有关专业师生参考。
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