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醉染图书高温SiC MEMS传感器的热电特9787030724892
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章SiC及热电特简介
1.1背景
1.2SiC
1.3SiC生长
1.4热电特
1.5高温SiCMEMS传感器
参考文献
第2章SiC热电特基础
2.1热阻效应
2.1.1半导体材料的物理参数与基本概念
2.1.2单晶碳化硅
2.1.3多晶破化硅
2.1.4非晶碳化硅
2.2热效应
.热电容效应
2.4热电效应
2.5高温下SiC热电特的研究现状
2.5.1热电效应的试验装置
2.5.2单层SiC的热阻效应
2.5.3多层SiC的热电效应
2.64H-SiCp-n结
2.7高温下热电特
2.7.1热电效应
2.7.2热电容效应
参考文献
第3章高温SiC传感器的理想能
3.1灵敏度
3.2线度
3.3热响应时间
3.4低功耗
3.5稳定和能
参考文献
第4章SiCMEMS传感器的制备
4.1生长与掺杂
4.1.1SiC的生长
4.1.2SiC掺杂
4.2SiC刻蚀
4.2.1电化学刻蚀
4.2.2化学刻蚀
4..干法刻蚀或反应离子刻蚀
4.3SiC的欧姆接触和肖特基接触
4.3.1欧姆接触
4.3.2肖特基接触
4.4SiCMEMS传感器的制造工艺
4.4.1表面微加工工艺
4.4.2体微加工工艺
4.4.3集成冷却系统的MEMS器件的制备
参考文献
第5章设计和工艺对SiC热器件能的影响
5.1衬底影响
5.2掺杂影响
5.3表面形貌
5.4沉积温度
5.5几何与尺寸
参考文献
第6章SiC热电特的应
6.1温度传感器、温度控制/补偿与热测量
6.1.1热电阻
6.1.2p~n结温度传感器
6.2热阻传感器
6.2.1热线及热膜式流量传感器
6.2.2量热式流量传感器
6..飞行时间流量传感器
6.3对流加速度计与陀螺仪
6.3.1对流加速度计
6.3.2对流陀螺仪
6.4应用
6.4.1易燃气体传感器
6.4.2集成加热、感知和微流控冷却的SiCMEMS
参考文献
第7章SiC热电传感器展望
7.1绝缘体上SiC薄膜
7.2SiC热电器件与材料的集成
7.3SiC热驱动器
7.4SiC传感器的发展与挑战
参考文献
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