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  • 全新微纳米加工技术及其应用(第4版)崔铮9787040543025
  • 正版
    • 作者: 崔铮著 | 崔铮编 | 崔铮译 | 崔铮绘
    • 出版社: 高等教育出版社
    • 出版时间:2020-09-01
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    • 作者: 崔铮著| 崔铮编| 崔铮译| 崔铮绘
    • 出版社:高等教育出版社
    • 出版时间:2020-09-01
    • 版次:4
    • 印次:1
    • 字数:670000
    • 页数:564
    • 开本:16开
    • ISBN:9787040543025
    • 版权提供:高等教育出版社
    • 作者:崔铮
    • 著:崔铮
    • 装帧:精装
    • 印次:1
    • 定价:129.00
    • ISBN:9787040543025
    • 出版社:高等教育出版社
    • 开本:16开
    • 印刷时间:暂无
    • 语种:暂无
    • 出版时间:2020-09-01
    • 页数:564
    • 外部编号:1202133127
    • 版次:4
    • 成品尺寸:暂无

    章绪论

    1.1微纳来技术与微纳米加工技术

    1.2微纳米加工的基本过程与分类

    1.3本书的内容与结构

    参考文献

    第2章光学曝光技术

    2.1引言

    2.2光学曝光方式与原理

    2.2.1掩模对准式曝光

    2.2.2掩模投影式曝光

    .光学曝光的工艺过程

    2.4光刻胶的特

    2.4.1光刻胶的一般特

    2.4.2正光刻胶与负光刻胶的比较

    2.4.3化学放胶
    2.4.4特殊光刻胶

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