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全新硅技术的发展和未来P.希弗特9787502445362
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1 导论:各种形式的硅1.1 引言1.2 从20世纪60年代到70年代初:能带1.3 20世纪70年代:应用于硅的表面理论1.4 20世纪80年代:硅的结构能1.5 20世纪90年代:硅团簇与量子点的结构和质1.6 未来展望参考文献部 半导体体硅晶体2 硅:半导体材料2.1 引言2.2 早期历史. 硅研究中的竞争与合作2.4 初的器件应用2.5 MOS技术和集成2.6 结论参考文献3 硅:一个工业奇迹3.1 引言3.2 主要制程3.3 硅材料生产工艺参考文献第二部分 多晶硅4 器件用多晶硅薄膜4.1 引言4.2 多晶硅薄膜分类4.3 多晶硅生长和微晶结构4.3.1 CVD多晶硅4.3.2 非晶硅晶化的多晶硅4.3.3 CVD多晶硅晶界化学4.3.4 多晶硅的掺杂4.4 多晶硅的电能4.5 结论参考文献5 光伏用硅5.1 引言5.2 光伏用硅材料5.2.1 不同生产工艺的历史与现状5.2.2 薄膜沉积工艺5.3 光伏硅的输运特5.3.1 缺陷及杂质对硅输运质的影响5.3 .2吸除改善材料能5.4 硅太阳电池5.4.1 硅太阳电池技术与技术的比较5.4.2 多晶硅太阳电池技术5.5 结论参考文献第三部分 外延,薄膜和多孔层6 分子束外延薄膜6.1 设备原理和生长机理6.2 历史概述;6.3 应变异质结构的稳定6.3.1 应变层的临界厚度6.3.2 亚稳态膺晶生长6.3.3 器件结构的加工和退火6.4 硅MBE生长膜中掺杂剂的分布6.4.1 掺杂问题6.4.2 突变和δ型掺杂分布6.5 半导体器件研究6.5.1 异质结双极晶体管(HBT)6.5.2 SiGeMOSFET和MODFET6.5.3 垂直MOSFET结构6.6 若干研究重点介绍6.6.1 级联激光器6.6.2 表面结构6.6.3 自组织和有序化6.7 结论参考文献7 氢化非晶硅(a-Si:H)7.1 引言7.2 a-Si的制备和结构质7.3 a-Si:H的电学质7.4 光致发光和光电导7.5 亚稳态7.6 a-Si太阳电池参考文献8 绝缘体上硅和多孔硅8.1 绝缘体上硅8.1.1 SOIMOS晶体管的一般质8.1.2 SOI应用8.2 SOI材料8.2.1 早期的SOI材料8.2.2 蓝宝石上硅(silicon-on-sapphire,SOS)8.. SIMOX8.2.4 晶片键合和背面腐蚀8.2.5 智能剥离(Smart-Cut)8.2.6 Eltran8.3 结论参考文献第四部分 品格缺陷9 缺陷能谱学9.1 引言9.2 表征缺陷特的基本参数9.3 结空间电荷技术9.3.1 电容技术9.3.2 热测量技术9.3.3 光学测量技术9.4 光学测量方法9.4.1 光热电离谱9.4.2 傅里叶光电导纳谱参考文献10 硅及其在扫描探针显微术进展中的重大作用10.1 引言10.2 作为扫描探针显微镜基准的硅10.3 作为AFM悬臂材料的硅10.4 作为STM和AFM的Si(111)(7x7)表面参考文献第五部分 硅掺杂11 缺陷、扩散、离子注入、再结晶和电介质11.1 引言11.2 高温扩散掺杂11.3 缺陷与扩散机制11.4 品格缺陷、扩散与吸杂11.5 离子注入11.6 硅、氮、碳及电介质11.7 注入分布11.8 溅和分布11.9 辐照缺陷与态、表面态以及界面态11.10 离子注入样品的热处理……第六部分 某些杂质的作用第七部分 器件第八部分 对硅的补充:化合物半导体第九部分 新的研究领域
作者:(法国)P.希弗特 (德国)E.瑞梅尔 译者:屠海令
《硅技术的发展和未来》由冶金工业出版社出版。
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