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音像铟镓砷光电探测器及其焦平面阵列龚海梅,李雪,张永刚
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章 空间遥感与光电探测 11.1 引言 11.2 空间遥感及其应用 21.2.1 电磁波谱及其波段划分 21.2.2 大气层及其透窗口 41.. 空间遥感技术及其应用 51.3 光电探测及其空间应用 121.3.1 光电探测基本原理 121.3.2 典型光电探测仪器 131.3.3 光电探测器 141.3.4 红外探测器的空间应用 161.4 空间遥感对光电探测器的需求 191.4.1 空间遥感应用的基本要求 191.4.2 红外探测器(焦平面)的主要参数 201.4.3 系统对红外探测器(焦平面)的要求 211.5 铟镓砷光电探测器及其空间应用 221.5.1 铟镓砷光电探测器 221.5.2 铟镓砷探测器的空间应用 1.6 小结 26参考文献 27第2章 近红外/短波红外特点及铟镓砷器件应用特色 282.1 引言 282.2 空间应用 28. 光谱传感应用 392.4 应用 412.5 小结 45参考文献 45第3章 铟镓砷的前世今生 483.1 引言 483.2 InGaAs系材料的缘起钩沉 493.3 InGaAs系材料的基本特 533.4 InGaAs与光纤通信的渊源 653.5 InGaAs与材料体系的比较 693.6 小结 72参考文献 72第4章 光伏型光电探测器的基本特及表征 764.1 引言 764.2 静态特 774.2.1 IV特 74.2.2 光响应特 54.. 光谱特 84.2.4 抗辐照特 904.3 动态特 934.3.1 CV特 934.3.2 瞬态特 954.3.3 黑体响应 1034.3.4 噪声特 1074.4 优值系数与评估规则 1094.4.1 优值系数D 1104.4.2 优值系数R 0A 1114.4.3 评估规则Rule 07 1114.4.4 评估规则IGARule 171134.5 小结 117参考文献 118第5章 铟镓砷光电探测材料外延生长技术 1215.1 引言 1215.2 主要外延生长技术 1215.2.1 液相外延(LPE) 1225.2.2 气相外延(VPE) 1245.. 分子束外延(MBE) 1305.3 气态源分子束外延(GSMBE) 1325.3.1Ⅲ族源 1325.3.2Ⅴ族源 1335.3.3 生长设备 1365.4 InGaAs光电探测器材料的GSMBE生长 1365.4.1 晶格匹配材料 1375.4.2 波长扩展材料 1415.5 小结 153参考文献 153第6章 材料特表征方与技 1596.1 引言 1596.2 结构特 1606.2.1 晶体结构、晶格参数、失配度及组分 1606.2.2 表面形貌显微分析 1706.. 微观状态、缺陷及成分分析 1756.3 光学与光电特 136.3.1 吸收与反特 136.3.2 发光特 196.3.3 材料均匀表征及其与FPA能的关联 1946.4 电学与输运特 1976.4.1 载流子浓度、迁移率 1976.4.2 载流子寿命、扩散系数和扩散长度 2046.4.3 缺陷能级与密度 2066.5 小结 208参考文献 208第7章 InGaAs光电探测器及焦平面工艺技术 2117.1 引言 2117.2 器件结构设计与模拟 2127.3 器件制造标准工艺 2157.4 成结工艺 2187.4.1 刻蚀成结技术 218……
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