正版新书]高新制造业静电与微污染控制Roger W. Welker,R. Nagar

章 污染控制基础知识 1.1概述 1.1.1污染源 1.1.2污染附着力 1.1.3污染控制方法 1.2污染控制术语 1.3空气污染和表面污染 1.4污染来源 1.5污染控制要求 1.5.1尘埃粒子要求 1.5.2化学气相污染控制限值 1.5.3离子污染控制限值 1.5.4电磁污染控制限值 1.5.5表面污染率和空气电离 1.5.6接触传递和原位污染 1.5.7气流要求 1.5.8压力要求和外壳排气 1.5.9维护要求 1.5.10要求 1.5.11要求摘要 1.6相关标准 参考文献和注释 延伸阅读 第2章 ESD控制基础知识 2.1概述与发展历史 2.2静电控制术语 .静电来源 ..1静电 ..2静电充放电影响 ..静电设备失效模式 2.4 ESD控制要求 2.4.1 ESD度确定 2.4.2电爆装置的ESD模型 2.5 建立防静电工作区 2.5.1材料的表面电阻率 2.5.2接地 2.5.3识别和进入防静电工作区 2.5.4防静电地板 2.5.5防静电台面和桌垫 2.5.6腕带接地点 2.5.7空气电离系统 2.5.8相对湿度 2.5.9防静电椅与防静电凳 2.5.10垃圾箱 2.5.11阴极线管显示器 2.5.12场电位限值 2.5.13工具和夹具 2.5.14输送设备 2.6人员的ESD控制 2.6.1腕带和螺旋线 2.6.2培训和认方案 2.6.3洁净室工作服和防静电服 2.6.4鞋子 2.6.5手套、内衬和手指套 2.7易耗品与附件 2.7.1包装 2.7.2干燥剂 2.7.3手提箱、垃圾箱和集装箱 2.7.4笔记本和文件保护套 2.7.5棉签和抹布 2.7.6纸 2.7.7胶带 2.8个人防护设备及其使用程序 2.8.1腕带和腕带监测仪 2.8.2坐立操作 2.9 ESD产品运输 2.10检查和记录保存 2.10.1每日目测检查 2.10.2定期仪器检查 2.10.3测试程序 2.11 ESD控制方案 2.12 ESD和污染控制 2.13参考标准 参考文献和注释 第3章 采样和分析方法 3.1概述 3.2分析方法种类 3.2.1功能实验室测试 3.2.2非功能测试：第三方实验室测试 3.3空气、液体和表面污染物采样 3.3.1空气污染物 3.3.2液体污染物 3.3.3表面污染物 3.4有机污染分析方法 3.4.1水膜残迹试验 3.4.2接触角测量 3.4.3光激发发技术 3.4.4非挥发残留物测试 3.4.5有机采样技术 3.4.6中央空气监测系统 3.4.7光谱化学分析 3.4.8气相色谱质谱 3.4.9二次离子质谱 3.5离子和无机污染分析方法 3.6静电放电方法 3.6.1摩擦带电测试 3.6.2体电阻和表面电阻测量 3.6.3空气电离器测试 3.6.4典型的静电场监测仪器 3.7数值模拟 3.8代数预测建模 3.9统计分析方法 3.9.1基本统计分析工具 3.9.2洁净度测量方法能力分析 延伸阅读 参考文献和注释 第4章 设计：污染和防静电工作区 4.1概述 4.2洁净室设计基础 4.2.1什么是洁净室 4.2.2洁净室运行 4..过滤器工作原理 4.3洁净室 4.3.1非单向流（传统或混合流）洁净室 4.3.2非单向流洁净室的空气电离 4.3.3单向流：100％过滤器覆盖率 4.3.4单向流洁净室的空气电离 4.3.5穿孔活动地板 4.3.6穿孔活动地板房间的压力平衡 4.3.7工具安装后的气流平衡 4.3.8实心与穿孔工作表面 4.3.9零件存储位置 4.3.10水平单向流洁净室 4.4洁净室建设和运行成本 4.5现代节能方法 4.5.1单向流清洁工作台 4.5.2隔离器和微环境 4.5.3移动使用洁净棚 4.5.4隧道式大开间洁净室 4.5.5微环境 4.6设计注意事项 4.6.1门和风淋室 4.6.2人员风淋通道 4.6.3设备风淋通道 4.6.4辅用房 参考文献和注释 第5章 清洁零件采购与保养 5.1概述 5.2发展历史 5.3简要并准确的清洁程序 5.3.1洁净度等级分级方法 5.4制造和清洁设计 5.4.1制造设计指南 5.4.2清洁设计指南 5.4.3间接洁净度测量的清洁指数 5.4.4清洁设计规划注意事项 5.4.5清洁设计管理注意事项 5.5工艺设计指南 5.5.1水溶切削液使用 5.5.2减少过程工作量之采用流水线 5.5.3加工后冲洗 5.5.4清洁后的零件处理 5.5.5焊接和焊剂去除 5.5.6先清洁后组装VS先组装后清洁 5.6清洗过程 5.6.1液体池中的颗粒 5.6.2边界层 5.6.3超声波清洗 5.6.4喷雾清洗 5.6.5旋转冲洗干燥机清洗 5.6.6蒸气脱脂 5.6.7化学清洗 5.6.8溶剂清洗 5.6.9机械搅拌清洗 5.6.10手动清洗 5.6.11特殊清洗 5.7干燥过程 5.7.1旋转冲洗干燥 5.7.2强制风干 5.7.3真空干燥 5.7.4吸附干燥 5.7.5化学干燥 5.8清洁成本 5.9供应商处理污染检查表 5.10案例研究：清洁设备和清洁工艺设计 5.11先清洁后组装和先组装后清洁的详细信息 5.11.1清洁策略 5.11.2案例研究：CTA和ATC 5.11.3案例研究结果和讨论 5.12颗粒粒径分布 5.12.1 MIL-STD-1246 5.12.2分析方法 5.1.提取方法测试 5.12.4结果 5.13工具零件清洁 参考文献和注释 第6章 工具设计和认 6.1概述 6.1.1工具设计过程 6.1.2工具设计的应用和局限 6.2污染和ESD控制要求 6.3维护要求 6.3.1基础擦拭程序 6.3.2维护擦拭 6.3.3工艺变更 6.3.4需求总结 6.4一般设计选择 6.4.1消除污染产生装置 6.4.2迁移污染产生装置 6.4.3封闭和排空污染产生装置 6.5材料 6.5.1材料准则 6.5.2磨损指南 6.5.3塑料指南 6.6表面处理 6.6.1油漆 6.6.2阳极氧化和相关处理 6.6.3电镀、电抛光和处理 6.6.4涂层注意事项 6.6.5增效涂层 6.6.6涂层的相对耐磨能 6.6.7表面质地和孔隙度 6.7组件的选择和评估 6.7.1气动装置 6.7.2直线运动导向 6.7.3电动机 6.7.4管道和移动使用过滤器处理 6.7.5现场监测设备 6.7.6手动工具 6.8工具和工作台布局 6.8.1流量控制机箱、微环境和标准机器接口 6.8.2洁净室工具归置 6.9自动化工具的洁净室认 6.9.1采样统计要求 6.9.2分析设备和方法 参考和注释 延伸阅读 第7章 连续监测 7.1概述 7.1.1监测方法 7.1.2常规粒子测量 7.1.3静态采样和动态采样 7.1.4数据采集修正规则 7.1.5静态采样和动态采样 7.1.6案例研究：常规采样与静态采样、动态采样的对比 7.1.7粒子生成的趋势、循环和突发模式 7.1.8案例研究：连续监测的应用 7.1.9总结和结论 7.2污染持续监测 7.2.1多路复用监测 7.2.2气动多路复用粒子监测 7.3制造过程连续监测 7.3.1空气质量 7.3.2流体纯度处置 7.3.3 100％采样价值 7.3.4表面清洁度和静电荷 7.4水清洗应用中对原位监测的评估 7.4.1实验描述 7.4.2实验结果 7.4.3基于ISPM的管理 7.4.4结论 7.5静电荷监测天线 参考文献和注释 第8章 消耗品和包装材料 8.1概述 8.2洁净室和防静电手套 8.3功能与非功能测试 8.3.1功能材料鉴定测试 8.3.2非功能测试：第三方实验室测试 8.3.3 ESD在手套选用中的影响因素 8.4手套使用策略 8.5初资格认VS.正在进行的批量认需求 8.6手套洗涤 8.6.1天然橡胶乳胶手套早期观察 8.6.2手套可洗 8.6.3手套能 8.6.4手套洗涤总结 8.7手套ESD能 8.7.1 ESD能的材料选择 8.7.2洁净室手套和手套内衬ESD能的具体说明 8.7.3测试注意事项 8.7.4影响手套ESD能的因素 8.8手套洗涤 8.8.1成本效益问题 8.8.2聚氨酯手套实验室特 8.8.3 ESD能 8.8.4化学污染 8.8.5磨损特 8.8.6洗涤测试 8.8.7手套洗涤和再利用对成本的影响 8.8.8结论 8.9抹布和擦拭布 8.9.1选择合适的抹布或擦拭布 8.10可重复使用的包装材料和一次包装材料 8.10.1包装中的ESD考虑因素 8.10.2碳填充聚合物 8.10.3金属填充物 8.10.4局部有机制剂和混合有机制剂 8.10.5聚合物混合物 8.11表面覆盖 参考文献和注释 第9章 污染控制和人为静电 9.1概述 9.2人为污染源 9.2.1皮肤和头发 9.2.2指纹 9..细菌和真菌 9.2.4唾沫滴液 9.2.5日常 9.2.6污染形式 9.3典型的更衣程序 9.3.1内部套装 9.3.2发套（蓬松式） 9.3.3编织手套 9.3.4阻隔层手套 9.3.5面罩 9.3.6兜帽和电动头盔 9.3.7罩袍、连身衣和分体式套装 9.3.8鞋套、短靴和专用鞋子 9.3.9建议的更衣频率 9.4洁净室进入程序 9.4.1进入更衣室前的准备程序 9.4.2擦拭 9.4.3头罩和面罩 9.4.4擦鞋器 9.4.5手洗 9.4.6洁净室更换 9.4.7电动头盔 9.4.8鞋子 9.4.9擦鞋机和粘尘垫 9.5洁净室内行为 9.5.1洁净室内工作 9.5.2 HEPA过滤器 9.5.3活动地板 9.5.4手套 9.6洁净室进入程序 9.6.1齐膝靴子 9.6.2罩袍或连身衣 9.6.3头罩 9.6.4发罩、手套和一次鞋套 9.7与洁净间等级的关系 9.8防静电工作区进入程序 9.8.1防静电工作区内行为 9.8.2洁净室内的防静电工作区 9.9和洗衣 9.9.1选择 9.9.2清洁度测量 9.9.3面料选择 9.9.4设计和结构 9.9.5洁净室洗衣服务选择 参考文献和注释 0章 更衣室布局 10.1有效的更衣室设计原则 10.2案例研究：更衣室 10.3进入洁净室 10.3.1计划 10.3.2更衣前准备 10.3.3洁净室的穿衣过程 10.3.4整理着装 10.4离开洁净室 10.5注意事项 参考文献和注释 1章 程序和文件 11.1文档的层次结构和审计 11.2操作员自检 11.3非仪器审计 11.4仪器审计 11.5独立审计 11.6审计打分卡的使用 11.7典型调查 11.8案例研究：破碎磁体清洁程序 11.8.1破碎磁体定义 11.8.2关于破碎磁体清洁程序的建议 参考文献 索引

随着科技的发展，越来越多的行业认识到污染和静电放电(ESD)是影响产量和可靠的重要因素。例如，过去人们通常认为污染能够影响诸如半导体、磁盘驱动器、航空航天、制药和医疗器械等行业的发展，如今则发现，污染对汽车、粮食生产和食品加工等行业的影响也很大，行业发展也得益于污染控制技术的进步。静电放电控制技术及其应用亦是如此，受到了各行各业的日益关注。