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  • 热丝化学气相沉积技术 (日)松村英树 等 著 黄海宾 等 译 专业科技 文轩网
  • 新华书店正版
    • 作者: 暂无著
    • 出版社: 化学工业出版社
    • 出版时间:2024-06-01 00:00:00
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         https://product.suning.com/0070067633/11555288247.html

     

    商品参数
    • 作者: 暂无著
    • 出版社:化学工业出版社
    • 出版时间:2024-06-01 00:00:00
    • 版次:1
    • 开本:其他
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787122456632
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:化学工业出版社

    热丝化学气相沉积技术

    作  者:(日)松村英树 等 著 黄海宾 等 译
    定  价:198
    出 版 社:化学工业出版社
    出版日期:2024年07月01日
    页  数:364
    装  帧:精装
    ISBN:9787122456632
    主编推荐

    1.原著作者为本领域权威Hironobu Umemoto教授。2.全面介绍催化(热丝)化学气相沉积内容基础理论、设备设计及在太阳电池、半导体领域的应用。

    内容简介

    催化化学气相沉积(Cat-CVD)又名热丝化学气相沉积,可以在衬底温度低于300℃条件下获得器件级的高质量薄膜。本书系统介绍了Cat-CVD技术,包括其基本原理、设备设计及应用。具体包括Cat-CVD的物理基础及其与等离子增强化学气相沉积的区别、Cat-CVD 中化学反应的分析方法及基本原理、Cat-CVD 的物理化学基础、Cat-CVD制备的无机薄膜性能、引发化学气相沉积(iCVD)合成有机聚合物、Cat-CVD设备运行中的物理基础与技术、Cat-CVD 在太阳电池和各种半导体器件中的应用、Cat-CVD系统中的活性基团及其应用,最后介绍了利用Cat-CVD 腔室中产生的活性基团,在低温下进行半导体掺杂。
    本书可供薄膜制备相关研发和技术人员参考使用,主要涉及半导体及薄膜太阳电池等领域。

    作者简介

    松村英树(Hideki Matsumura),博士,日本北陆先端科学技术大学院大学(JAIST)材料科学学院荣誉教授。梅本弘宣(Hironobu Umemoto),博士,日本静冈大学工程学院化学与生物工程专业教授。卡伦·格利森(Karen K.Gleason),博士,美国麻省理工学院Alexander和I. Michael Kasser化学工程教授,副教务长。吕德·施罗普(Ruud E.I.Schropp),博士,荷兰埃因霍芬理工大学Solliance太阳能研究所高级研究员。黄海宾,江西汉可泛半导体技术有限公司董事长,国内知名异质结太阳电池专家,主要研究方向为太阳电池器件结构设计、模拟分析及产业化制备技术与装备,半导体薄膜制备技术与装备。沈鸿烈,南京航空航天大学教授,亚太材料科学院院士。主要从事光伏及半导体功能材料方面的研究。Hironobu Umemoto,博士,日本北陆先端科学技术大学null

    精彩内容

    目录
    第1章引言
    1.1薄膜技术
    1.2 Cat-CVD的诞生
    1.3 Cat-CVD及相关技术的研究历史
    1.4本书的结构
    参考文献
    第2章Cat-CVD的物理基础及其与PECVD的区别
    2.1沉积腔室中的物理基础
    2.1.1分子密度及其热速率
    2.1.2平均自由程
    2.1.3固体表面的碰撞
    2.1.4腔室中基团的停留时间
    2.2Cat-CVD和PECVD设备的差异
    2.3 PECVD的基本特征
    2.3.1 PECVD的诞生
    ……

    售后保障

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