场发射扫描电镜的理论与实践
作 者:李永良,徐驰,李文雄,张月明 著
定 价:69.8
出 版 社:人民邮电出版社
出版日期:2024年04月01日
页 数:224
装 帧:平装
ISBN:9787115631954
1.本科生、研究生进入实验室的指导书。
2.场发射扫描电镜理论全梳理,适合刚开始接触扫描电镜的实验室新人。
3.这本书里有老师傅才懂的扫描电镜制样技巧,涵盖颗粒物样品、表面样品和界面样品的制备。
4.一线研究人员三十余年工作经验的总结,手把手教你纳米颗粒、磁性材料等样品图像的分析。
场发射扫描电镜的出现,标志着扫描电镜进入一个崭新的时代,扫描电镜技术取得了巨大进步,新型电子枪、浸没式物镜、穿镜二次电子探测器、模拟背散射、E×B和电子束减速等新技术的应用,极大地提高了扫描电镜的性能,场发射扫描电镜已经成为各类分析测试实验室推荐的仪器.
本书系统地论述了扫描电镜基础理论、扫描电镜的结构和成像原理,通过实操案例详细地介绍了扫描电镜的调试和参数选择,重点介绍了样品制备及场发射扫描电镜在生物、环境和材料领域中的应用.
本书适合材料、化学、生物、微电子、半导体和环境等领域的科研院所和高校相关专业师生阅读,可为相关行业研究人员和从业者提供有益参考.
李永良
北京师范大学分析测试中心副研究员,1988年入职北京师范大学分析测试中心电镜室,负责管理日立X-650扫描电镜和H-600透射电镜。2005年开始管理日立S-4800冷场发射扫描电镜,2009年开始管理赛默飞TF-20场发射透射电镜。从事电子显微镜的教学和测试工作30余年,对电子显微镜有着深刻的理解。在国内外期刊上合作发表论文150余篇,其中第 一作者论文38篇。
徐驰
北京师范大学核科学与技术学院讲师、硕士生导师,兼任北京师范大学分析测试中心透射电子显微镜主管工程师。中国核学会射线束技术分会理事。2015—2018年于美国阿贡国家实验室核能工程系联合培养,2018年于美国佛罗里达大学材料科学与工程学部获哲学博士学位。长期从事以扫描电镜、透射电镜、三维原子探针、同步辐射X射线原位分析等技术为主的科学研究。主要研究方向为金属材料辐照损伤、特别环境材料腐蚀机理,以及液相等离子体氧化技null
无
第1章 扫描电镜基础理论
1.1电子束与物质的相互作用
1.1.1电子束成像
1.1.2电子束照射样品
1.1.3弹性散射
1.1.4非弹性散射
1.1.5电子束与物质相互作用体积的估算
1.2背散射电子的产生与性质
1.2.1背散射电子的来源
1.2.2影响背散射电子信号的因素
1.2.3背散射电子的分布
1.3二次电子的产生与性质
13.1二次电子的来源
1.3.2二次电子的能量分布
1.3.3二次电子的逸出深度
1.3.4二次电子产额与原子序数的关系
1.3.5二次电子产额与样品倾转角的关系
1.3.6二次电子产额与入射电子束能量的关系
1.3.7二次电子的角分布
1.3.8二次电子的空间分布特性
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