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  • 现代集成电路制造技术 库玛尔·舒巴姆(Kumar Shubham)安卡·古普塔(Ankaj Gupta)化学工业出版社9
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    • 作者: 库玛尔·舒巴姆(Kumar著 | 无编
    • 出版社: 化学工业出版社
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    商品参数
    • 作者: 库玛尔·舒巴姆(Kumar著| 无编
    • 出版社:化学工业出版社
    • 页数:252页
    • ISBN:9787122454812
    • 版权提供:化学工业出版社

    商品参数

    现代集成电路制造技术

    图书定价:

    128.00

    出版单位:

    化学工业出版社

    出版时间:

    2024年08月

    图书开本:

    16

    图书作者:

    (印)库玛尔·舒巴姆(Kumar Shubham)(印)安卡·古普塔(Ankaj Gupta)

    图书页数:

    252

    ISBN书号:

    9787122454812

    内容介绍

    本书详细介绍了半导体芯片制造中的晶片制备、外延、氧化、光刻、蚀刻、扩散、离子注入、薄膜沉积、封装以及VLSI工艺集成等内容,涵盖了集成电路制造工艺流程中主要步骤。本书图文并茂,内容全面,理论与实践紧密结合,有助于从事集成电路和半导体相关工作的技术人员迅速了解集成电路制造技术的关键工艺。 本书可供半导体制造领域从业者阅读,也可供高校微电子、集成电路等相关专业教学参考。
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