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无著|
无编
- 出版社:化学工业出版社
- 页数:350页
- ISBN:9787122456144
- 版权提供:化学工业出版社
商品参数
| 69.00 |
出版单位: | 化学工业出版社 |
出版时间: | 2024年10月 |
图书开本: | 16 |
图书作者: | 刘仲武 主编 |
图书页数: | 350 |
ISBN书号: | 9787122456144 |
内容介绍
《薄膜材料科学与技术》是 高等学校材料类专业教学指导委员会规划教材,全面地介绍了薄膜材料的基本概念、薄膜制备技术、薄膜生长机理、薄膜加工技术以及薄膜分析技术。在简要地阐述薄膜材料基本特点的基础上, 先介绍了与薄膜表征和分析密切相关的真空技术和等离子体技术;详细阐述了薄膜材料的制备方法,包括薄膜制备的液相方法、薄膜物理气相沉积技术、薄膜的热氧化与化学气相沉积技术、薄膜旋涂和喷涂技术,涉及各种制备方法的基本原理、制备设备和制备工艺;分析了气相沉积薄膜材料的生长机制、薄膜的生长过程及其影响因素,介绍了薄膜的外延生长技术;随后进一步介绍了薄膜的微细加工技术,特别是薄膜刻蚀技术; 后,系统阐述了薄膜的表征和分析方法,包括薄膜的厚度控制与测量、成分表征、结构表征、原子化学键表征、表面形貌与微观组织分析以及薄膜材料性能分析。 本书不仅具有一定的理论参考价值,也具有较为广泛的应用参考价值,既可作为高等院校材料类及相关专业的本科生、研究生教学用书,也可作为薄膜材料专业科技人员的参考书。
作者介绍
刘仲武 华南理工大学教授、博士生(硕士生)导师, 新世纪 人才(2011),先进金属与电磁材料研究团队负责人。 主要从事磁性材料、纳米材料与先进金属材料研究。目前是国际期刊J Surf Interf Mater编委、Material Science and Engineering with Advanced Research编委、《材料科学》编委,广东省稀土材料标准化技术委员会和家电技术委员会委员、中国材料学会和中国电子学会高*级会员;广东省青年科学家协会理事;广东省材料研究学会理事;捷克、马来西亚等多个国家境外评审专家; ISAM会议国际咨询委员会委员。在Adv Mater、JACS、Appl Phys Lett、Acta Mater、Mater Design、J Appl Phys等国际和国内学术刊物上发表论文320多篇,SCI论文220多篇,申请和授权专利40多项。1998和1999年两次获中国航空工业总公司科技进步二等奖。2005年获英国Daniel Doncastor Prize;2006年入选华南理工大学"兴华人才"工程"百人计划";2008年入选广东省"千百十工程"学术骨干;2011年入选 "新世纪 人才";2016年获佛山市科技进步二等奖;2017年获广东省科技进步三等奖。
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