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半导体工程导论 (美)杰西·鲁兹洛 著 黄其煜,陈博 译 专业科技 文轩网
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半导体工程导论
1)作者为IEEE终身会士、宾夕法尼亚州立大学杰出名誉教授,《半导体工程导论》是作者40多年研究和教学经验的结晶。2)不同于对半导体技术每个主题的教科书式、单一主题的深入讨论,《半导体工程导论》以一种简明的方式介绍了整个半导体工程领域。3)综合考虑了半导体技术各个主题间的协同相互作用,全面介绍了半导体特性、材料、器件、制造技术和表征方法等内容。4)《半导体工程导论》有助于高等院校理工科类学生深入了解半导体技术问题,还可用作半导体相关培训课程的参考书。对于半导体行业的工艺工程师、销售和营销人员,以及知识产权专家、半导体行业投资者和对半导体行业感兴趣的读者来说,本书也是不错的知识来源。
本书第1章概述了半导体区别于其他固体的基本物理特性,这些特性是理解半导体器件工作原理的必要条件。第2章回顾了半导体材料,包括无机、化合物、有机半导体材料。同时,第2章也介绍了有代表性的绝缘体和导体的材料,它们是构成可以工作的半导体器件和电路所必不可少的组成部分。而这些器件和电路是在第3章概述的。第4章是关于半导体工艺的基础知识,并且用通俗的语言讨论了半导体制造中使用的方法、设备、工具和介质。在概述了半导体工艺技术之后,第5章讨论了主流半导体制造工艺中涉及的各单步工艺。第6章简要概述了半导体材料和工艺表征的基本原理。本书适合半导体工程及相关领域的学生、研究人员和专业人士阅读。
Jerzy Ruzyllo是美国宾夕法尼亚州立大学电气工程与计算机科学学院的杰出名誉教授。他在1977年获得博士学位后于1984年加入宾夕法尼亚州立大学,并在波兰华沙理工大学任教。在他的职业生涯中,Ruzyllo博士积极参与半导体科学与工程领域的研究和教学。Ruzyllo博士是美国电气电子工程师学会 (IEEE)终身会士和美国电化学学会(ECS)会士。
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