返回首页
苏宁会员
购物车 0
易付宝
手机苏宁

服务体验

店铺评分与同行业相比

用户评价:----

物流时效:----

售后服务:----

  • 服务承诺: 正品保障
  • 公司名称:
  • 所 在 地:

  • 新型微纳传感器技术 赵玉龙,蒋庄德 著 专业科技 文轩网
  • 新华书店正版
    • 作者: 赵玉龙,蒋庄德著
    • 出版社: 化学工业出版社
    • 出版时间:2022-12-01 00:00:00
    送至
  • 由""直接销售和发货,并提供售后服务
  • 加入购物车 购买电子书
    服务

    看了又看

    商品预定流程:

    查看大图
    /
    ×

    苏宁商家

    商家:
    文轩网图书旗舰店
    联系:
    • 商品

    • 服务

    • 物流

    搜索店内商品

    商品分类

         https://product.suning.com/0070067633/11555288247.html

     

    商品参数
    • 作者: 赵玉龙,蒋庄德著
    • 出版社:化学工业出版社
    • 出版时间:2022-12-01 00:00:00
    • 版次:1
    • 印次:1
    • 印刷时间:2022-12-01
    • 字数:352000
    • 页数:256
    • 开本:16开
    • 装帧:平装
    • ISBN:9787122423467
    • 国别/地区:中国
    • 版权提供:化学工业出版社

    新型微纳传感器技术

    作  者:赵玉龙,蒋庄德 著
    定  价:128
    出 版 社:化学工业出版社
    出版日期:2022年12月01日
    页  数:256
    装  帧:精装
    ISBN:9787122423467
    主编推荐

    1、本书既包含传感器的基础理论知识,又涵盖新型微纳传感器技术,具有丰富的传感器设计案例,能够深入浅出地讲解新型微纳传感器设计与制造,培养读者独立设计、创新分析和动手能力。 2、同目前国内外的类似著作相比,本书具有内容新颖、案例众多的特点,能够为本领域人员开展创新研究提供新的研究思路和技术方法,对推动微纳传感器技术的进步和产业化具有重要学术和应用价值。

    内容简介

    本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构,阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 本书可供高等院校传感器技术、微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业的师生作为教材使用,也可供从事传感器、MEMS、仪器仪表等相关专业的技术人员学习参考。

    作者简介

    精彩内容

    目录
    第1章传感器的基本概念 1
    1.1传感器的定义 1
    1.2传感器的组成 1
    1.3传感器的分类 2
    1.4传感器的地位与作用 2
    1.5传感器的发展动向 3

    第2章传感器的特性 5
    2.1传感器的静态特性 5
    2.1.1测量范围、量程和满量程输出 5
    2.1.2分辨力、阈值和灵敏度 6
    2.1.3迟滞 7
    2.1.4重复性 8
    2.1.5线性度 9
    2.1.6零漂与温漂 13
    2.1.7总精度 14
    2.2传感器的动态特性 18
    2.2.1传感器动态响应的基本特点 18
    2.2.2传递函数与频响特性 20
    2.2.3一阶系统的动态响应 23
    2.2.4二阶系统的动态响应 26
    2.2.5高阶系统的动态响应 31
    2.2.6传感器动态响应的指标 31
    2.2.7实验确定传递函数的方法 33

    第3章MEMS压阻式传感器 38
    3.1概述 38
    3.2压阻效应 40
    3.2.1压阻效应的定义与特点 40
    3.2.2晶面与晶向 41
    3.2.3压阻系数 42
    3.3压阻式压力传感器 48
    3.3.1平膜结构的力敏电阻电桥设计 48
    3.3.2梁-岛膜结构的力敏电阻电桥设计 56
    3.4MEMS压阻式微加速度计 62
    3.4.1硅微加速度计概述 62
    3.4.2MEMS压阻式加速度计测量原理 62
    3.4.3复合多梁MEMS压阻式加速度计 64
    3.4.4孔缝结构MEMS压阻式加速度计 67
    3.4.5高g值MEMS加速度计 69
    参考文献 72

    第4章高温压力传感器 74
    4.1耐高温压力传感器的应用需求和主要技术方法 74
    4.1.1耐高温压力传感器的应用需求 74
    4.1.2耐高温压力传感器主要技术方法 75
    4.2SOI高温压力传感器 78
    4.2.1SOI压阻传感器的耐高温工作原理 78
    4.2.2合理掺杂浓度的设计 79
    4.2.3SOI耐高温敏感元件的制作工艺 81
    4.3耐高温压力传感器的典型封装形式 84
    4.3.1绝压与表压的芯片级封装 84
    4.3.2齐平膜高频响结构——倒杯式和C型杯式 85
    4.3.3高可靠性充油封装 85
    4.3.4微型化无引线封装 86
    4.4SiC耐高温压力传感器敏感元件研制 87
    4.4.1SiC材料特性 87
    4.4.24H-SiC高温压力传感器芯片设计 89
    4.4.34H-SiC高温压力传感器芯片制备 91
    参考文献 94

    第5章MEMS振梁式谐振传感器 96
    5.1谐振式传感器概述 96
    5.1.1概述 96
    5.1.2谐振现象与传感器 97
    5.1.3特征和优势 98
    5.2谐振式传感器的敏感机理及信号检测方式 99
    5.2.1谐振敏感元件 99
    5.2.2敏感机理 100
    5.2.3信号检测方式 105
    5.3典型的振梁式谐振加速度传感器结构及其工作原理 106
    5.3.1硅振梁式谐振加速度传感器 106
    5.3.2石英振梁式谐振加速度传感器 110
    5.4典型的振梁式谐振压力传感器结构及其工作原理 117
    5.4.1硅振梁式谐振压力传感器 117
    5.4.2石英振梁式谐振压力传感器 121
    参考文献 122

    第6章MEMS陀螺技术 124
    6.1微机械陀螺的原理、分类与性能 125
    6.1.1科里奥利效应 125
    6.1.2微机械陀螺的分类 126
    6.1.3微机械陀螺的性能指标 127
    6.2振梁式硅MEMS陀螺分析 129
    6.2.1音叉式硅微机械陀螺 129
    6.2.2振动轮式硅微机械陀螺 130
    6.3石英音叉微机械陀螺 131
    6.3.1石英音叉陀螺的工作原理 131
    6.3.2驱动与检测原理 133
    6.3.3驱动稳幅稳频振动控制技术 134
    6.3.4角速度(电荷)检测技术 139
    6.3.5几种典型的石英音叉陀螺 139
    参考文献 141

    第7章智能加工切削力传感器 143
    7.1切削力概述 143
    7.1.1切削力的来源 143
    7.1.2切削力测量的重要性 144
    7.2切削力传感器的研究与发展 144
    7.2.1切削力传感器研究早期探索阶段 144
    7.2.2切削力传感器快速发展阶段 145
    7.2.3切削力传感器商业化阶段 147
    7.2.4智能刀具切削力传感器 148
    7.3集成化三维车削力传感器设计制造与测试 150
    7.3.1传感器设计原理与方法 150
    7.3.2传感器制造与封装技术 157
    7.3.3传感器性能测试与分析 160
    参考文献 164

    第8章基于非晶碳薄膜压阻效应的新型压力传感器 166
    8.1非晶碳膜压阻材料基础 166
    8.1.1非晶碳膜材料表征 166
    8.1.2非晶碳膜制备工艺研究 168
    8.1.3非晶碳膜性能研究 170
    8.2非晶碳膜的MEMS压阻式微压力传感器设计及加工 173
    8.2.1非晶碳膜微压力传感器设计 173
    8.2.2传感器芯片的封装方案设计 175
    8.3基于非晶碳膜的MEMS压阻式微压力传感器性能测试 176
    8.3.1静态性能测试 176
    8.3.2时间/温度漂移测试 177
    参考文献 177

    第9章MEMS微爆轰测试传感器 179
    9.1爆压测试方法 179
    9.1.1动量守恒法 180
    9.1.2阻抗匹配法 181
    9.2MEMS微爆轰压力传感器 188
    9.2.1爆压测试方法分析 188
    9.2.2MEMS微爆轰压力传感器设计 189
    9.2.3传感器动态标定 190
    9.2.4微爆轰实验测试 191
    9.3爆速测试方法 193
    9.3.1离散法 193
    9.3.2连续法 195
    9.4MEMS微爆轰速度传感器 196
    9.4.1爆速测试方法分析 197
    9.4.2MEMS微爆轰速度传感器设计 197
    9.4.3MEMS微爆轰速度传感器实验测试 198
    9.4.4爆速测试数据处理 199
    参考文献 200

    第10章大输出位移电热微执行器 202
    10.1微执行器概述 202
    10.1.1微执行器基本概念 202
    10.1.2微执行器国内外研究现状 203
    10.2大输出位移电热微执行器驱动机理与结构设计 207
    10.2.1电热微执行器类型 207
    10.2.2电热微执行器驱动原理 208
    10.2.3位移放大机构设计 218
    10.3大输出位移电热微执行器的应用 221
    10.3.1基于三角放大机构的电热执行器 221
    10.3.2基于柔性杠杆放大机构的电热执行器 222
    10.3.3基于微弹簧放大机构的电热执行器 224
    参考文献 226

    第11章超高温传感技术 228
    11.1引言 228
    11.2薄膜热电偶测温技术 228
    11.2.1金属型薄膜热电偶测温技术 228
    11.2.2氧化物型薄膜热电偶测温技术 235
    11.2.3大曲率涡轮叶片薄膜温度传感研究 238

    参考文献 243

    售后保障

    最近浏览

    猜你喜欢

    该商品在当前城市正在进行 促销

    注:参加抢购将不再享受其他优惠活动

    x
    您已成功将商品加入收藏夹

    查看我的收藏夹

    确定

    非常抱歉,您前期未参加预订活动,
    无法支付尾款哦!

    关闭

    抱歉,您暂无任性付资格

    此时为正式期SUPER会员专享抢购期,普通会员暂不可抢购