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钼靶材及其薄膜制备技术 谢敬佩 等 著 专业科技 文轩网
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钼靶材及其薄膜制备技术
无
针对大尺寸钼靶材制备难度大、致密度和晶粒尺寸的均匀性难以控制等技术难点,本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手,研究了原材料及还原工艺对粉性能的影响和烧结的热变形行为,分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响,确定了钼靶材的制备工艺,实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化,探究其对金属钳薄膜结构和光电性能的影响,从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。 本书可供从事有色金属、难熔金属材料、光电材料等领域的科研工作者、工程技术人员、大学教师及研究生参考。
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